[實用新型]CTP版材性能評價用全固態紅外激光掃描曝光系統

無效

• 申請號: 200720173126.4
• 申請日: 2007-09-14
• 公開（公告）號: CN201083957Y
• 公開（公告）日: 2008-07-09
• 發明（設計）人: 李港;張大鵬;李平雪;黃道波;陳檬
• 申請（專利權）人: 北京工業大學
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00;G03F7/20;G03F7/09;H01S3/00
• 代理公司: 北京思海天達知識產權代理有限公司
• 代理人: 張慧

1.CTP版材性能評價用全固態紅外激光掃描曝光系統，其特征在于：主要包括有光源(I)、控制系統(II)和光學變換部分(III)，其中，光源(I)為全固態鈦寶石830nm激光器(1)，控制系統(II)包括有電腦(6)、數控裝置(5)和三維移動平臺(4)，光學變換部分(III)包括有830nm反射鏡(2)和第一聚焦透鏡(3)，CTP版材固定于三維移動平臺(4)上，電腦(6)通過第一數控裝置(5)控制三維移動平臺(4)的移動，電腦還通過第二數控裝置(7)控制全固態鈦寶石830nm激光器的出光和關光，全固態鈦寶石830nm激光器(1)發出的光經過光學變換部分(III)的反射鏡(2)和聚焦透鏡(3)后作用在CTP版材上。

2.根據權利要求1所述的CTP版材性能評價用全固態紅外激光掃描曝光系統，其特征在于：所述的全固態鈦寶石830nm激光器(1)中的泵浦源為平凸腔LD泵浦倍頻Nd:YAG?532nm激光器，工作物質為摻鈦藍寶石，鈦寶石諧振腔采用三鏡V字腔型，腔內放置用于對腔內震蕩光實現色散的三棱鏡(K)，凸面反射鏡(M1)鍍膜對532nm、1064nm高反；聲光調Q開關由控制系統(II)控制；倍頻晶體采用KTP磷酸二氫鉀；532nm平面輸出鏡(M2)鍍膜對1064nm高反、對532nm高透；第二聚焦透鏡(L)鍍有532nm高透膜；第一凹面反射鏡(M3)鍍膜對532nm高透、對700～900nm高反；鈦寶石Ti:S對入射的532nm激光以布儒斯特角放置；第二凹面反射鏡(M4)鍍有700～900nm高反膜并對800nm激光以16.06度放置進行像散補償；通過調節830nm輸出鏡(M5)的放置角度使三棱鏡實現830nm激光輸出。