[實用新型]一種芯片測試裝置

無效

• 申請號: 200720171202.8
• 申請日: 2007-11-27
• 公開（公告）號: CN201145728Y
• 公開（公告）日: 2008-11-05
• 發明（設計）人: 徐文輝;黃鎮生
• 申請（專利權）人: 比亞迪股份有限公司
• 主分類號: G01R31/28
• 分類號: G01R31/28
• 代理公司: 深圳中一專利商標事務所
• 代理人: 張全文

1、一種芯片測試裝置，它包括芯片裝載臺、探針、探針裝載板及推動該探針裝載板沿垂直芯片裝載臺表面方向運動的Z軸升降裝置，所述探針安裝在探針裝載板上，其特征在于：該芯片測試裝置還包括一工作臺，所述探針裝載板及Z軸升降裝置均安裝在該工作臺上，該工作臺上還設有一導軌及安裝在該導軌上的滑塊，在該滑塊上設有前述芯片裝載臺及可分別推動該芯片裝載臺沿導軌方向、垂直導軌方向移動的X軸調節裝置和Y軸調節裝置。

2、根據權利要求1所述的芯片測試裝置，其特征在于：所述的滑塊上還設有一旋轉臺，所述的芯片裝載臺設置在該旋轉臺上。

3、根據權利要求1或2所述的芯片測試裝置，其特征在于：所述的工作臺上還設有一高度調節導柱，在該高度調節導柱上可旋轉的設有一顯微鏡，所述探針裝載板上則開有一可供顯微鏡觀察用的探針孔。

4、根據權利要求3所述的芯片測試裝置，其特征在于：所述的工作臺上還設有一可推動所述高度調節導柱沿前述導軌方向來回移動的擺動機構，該高度調節導柱安裝在該擺動機構上。

5、根據權利要求1所述的芯片測試裝置，其特征在于：所述的Z軸升降裝置包括一Z軸升降板、一可推動該Z軸升降板移動的凸輪及一升降臺控制底座，其中，Z軸升降板與所述的探針裝載板相連接，且該Z軸升降板通過一Z軸升降導柱設置在升降臺控制底座上，凸輪亦安裝在升降臺控制底座上。

6、根據權利要求5所述的芯片測試裝置，其特征在于：所述的Z軸升降裝置還包括一Z軸微調裝置，該Z軸微調裝置包括一Z軸微調襄塊、可使所述的Z軸升降板微動的Z軸微調尺及Z軸微調導柱，其中，Z軸微調尺安裝在所述的Z軸升降板上，Z軸微調襄塊通過Z軸微調導柱安裝在所述的升降臺控制底座上，Z軸微調襄塊與所述的Z軸升降板相連接。

7、根據權利要求1所述的芯片測試裝置，其特征在于：所述的滑塊上還設有一位移托板，相應的，所述的導軌上還設有一可與該位移托板磁力吸合的限位塊，所述的芯片裝載臺安裝在該位移托板上。

8、根據權利要求7所述的芯片測試裝置，其特征在于：所述的位移托板上還設有一位移浮板，所述的芯片裝載臺安裝在該位移浮板上，所述的Y軸調節裝置和X軸調節裝置分別為可推動位移浮板的Y軸微調尺和可推動該Y軸微調尺及位移浮板的X軸微調尺。

9、根據權利要求8所述的芯片測試裝置，其特征在于：所述的位移浮板包括上、下位移浮板，其中，下位移浮板安裝在所述的位移托板上，上位移浮板則安裝在下位移浮板上，在下位移浮板與所述的位移托板相接觸的面上及上、下位移浮板相接觸的面上均設有相互匹配的導軌凹槽結構。

10、根據權利要求4所述的芯片測試裝置，其特征在于：所述的擺動機構包括T形板、與該T形板相匹配的凹槽的擺動軌跡板、擺動中心塊和鉸鏈手柄，其中，擺動中心塊設置在所述的工作臺上，鉸鏈手柄分別與T形板及擺動中心塊相連接，所述的高度調節導柱安裝在T形板上。