[實用新型]針夾及針夾組件

有效

• 申請號: 200720170445.X
• 申請日: 2007-10-31
• 公開（公告）號: CN201107330Y
• 公開（公告）日: 2008-08-27
• 發明（設計）人: 康春鳳;王勝利;胡泓;劉振輝
• 申請（專利權）人: 深圳市矽電半導體設備有限公司
• 主分類號: G01R1/02
• 分類號: G01R1/02;G01R31/00;H01L21/66
• 代理公司: 深圳創友專利商標代理有限公司
• 代理人: 向武橋

技術領域

本實用新型涉及半導體制造領域，尤其是關于一種用于夾持刀片式探針的針夾及針夾組件。

背景技術

在半導體制造領域中，用現有的刀片式探針進行測試時，需要將刀片式探針焊接在探針卡上進行測試，這適用于刀片式探針數量較大的情況，但在刀片式探針的數量不多的情況下，則不是很方便。為了較少數量的刀片式探針即需要專門制作一張探針卡，而且需要專用的焊卡機對探針卡進行焊接，成本高，而且使用不便。

發明內容

本發明所要解決的技術問題是，克服現有技術的不足，提供一種成本低且使用方便的針夾及針夾組件。

本發明解決其技術問題所采用的技術方案是：一種針夾，包括基部及自該基部懸臂狀延伸出的第一夾臂和第二夾臂，該第一夾臂和該第二夾臂相分離并形成夾持腔，該夾持腔具有寬度減小的夾持口，該夾持口形成于該第一夾臂頭部的內壁面和該第二夾臂頭部的內壁面之間。

所述的第一夾臂具有貫穿的第一鎖緊孔，該第二夾臂具有與第一鎖緊孔對正的貫穿的第二鎖緊孔，該第一鎖緊孔和該第二鎖緊孔均與該夾持腔相通，該第二鎖緊孔為螺紋孔。

所述的第一鎖緊孔為光孔，該第一鎖緊孔的孔徑大于第二鎖緊孔的孔徑。

所述的基部具有過線孔、固線孔及安裝孔，該過線孔貫穿該基部，該固線孔與該過線孔垂直相通，該固線孔和該安裝孔均為螺紋孔。

所述的第一夾臂頭部的外壁面為斜面，第二夾臂頭部的外壁面也為斜面，且該兩斜面相對向內傾斜。

一種針夾組件，包括針夾、連接桿、調整桿及連接塊，該針夾包括基部及自該基部懸臂狀延伸出的第一夾臂和第二夾臂，該第一夾臂和該第二夾臂相分離并形成夾持腔，該夾持腔具有寬度減小的夾持口，該夾持口形成于該第一夾臂頭部的內壁面和該第二夾臂頭部的內壁面之間，該連接桿垂直安裝在該基部上，該調整桿與該連接桿可拆卸連接，該連接塊與該調整桿固接。

本發明的有益效果是，刀片式探針放在該針夾的夾持口處，通過第一夾臂和第二夾臂對該探針夾緊，使用方便，而且不需要專用設備，成本低。

附圖說明

圖1是刀片式探針的結構示意圖；

圖2及圖3分別是本實施方式針夾的兩個視角的立體圖；

圖4是本實施方式針夾組件的立體圖。

具體實施方式

如圖1至圖4所示，本實施方式針夾組件包括針夾1、連接桿2、調整桿3及連接塊4。該針夾1包括基部11及自該基部11懸臂狀同向延伸出的第一夾臂12和第二夾臂13，該第一夾臂12和該第二夾臂13分離設置并大致平行。該第一夾臂12和該第二夾臂13之間形成夾持腔14，該夾持腔14具有寬度縮小的夾持口141，該寬度的方向即刀片式探針5的寬度方向，該夾持口141形成于該第一夾臂12頭部的內壁面和該第二夾臂13頭部的內壁面之間。該第一夾臂12頭部的外壁面121為斜面，該第二夾臂頭部13的外壁面131也為斜面，且該兩斜面121、131相對向內傾斜，通過該斜面的設置，使整個針尖的視野更清晰。該第一夾臂12具有貫穿的第一鎖緊孔122，該第二夾臂13具有貫穿的第二鎖緊孔132，該第一、第二鎖緊孔122、132均與該夾持腔14相通，該第一鎖緊孔122為孔徑較大的光孔，該第二鎖緊孔132為孔徑較小的螺紋孔。該基部11具有過線孔111、固線孔112及安裝孔113，該過線孔111用于穿與測試機接口相連的線，該固線孔112用于供螺釘旋入而把該線固定，該安裝孔113用于安裝連接桿2，該過線孔111和該固線孔112垂直相通，該安裝孔113為螺紋孔。該連接桿2的底部垂直插入該針夾1的安裝孔113并與該安裝孔113螺紋配合，該調整桿3的底部通過鎖緊螺釘6固定在該連接桿2的頂部，該連接塊4固定在該調整桿3的頂部，該連接塊4由非金屬絕緣材料制成，該連接塊4與一個三維調節座相連。

使用時，把刀片式探針5放在該針夾的夾持口141處，從第一鎖緊孔122穿過一個短螺釘7，該短螺釘7連接到第二鎖緊孔132，用螺絲刀旋緊該短螺釘7，即可使夾持口141的寬度減小而夾緊該刀片式探針。拆卸或更換刀片式探針時，通過三維調節座退出工作位，松開鎖緊螺釘6，取下裝有刀片式探針5的針夾1，最后，松開短螺釘7即可更換刀片式探針5。

本實施方式中，將刀片式探針的刀片部分51放在針夾的夾持口141處，鎖緊短螺釘后即可通過第一夾臂12和第二夾臂13夾緊，并使該刀片式探針的探針部分52露出來進行測試，使用方便且成本低。

以上內容是結合具體的優選實施方式對本實用新型所作的進一步詳細說明，不能認定本實用新型的具體實施只局限于這些說明。對于本實用新型所屬技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型構思的前提下，還可以做出若干簡單推演或替換，都應當視為屬于本實用新型的保護范圍。