[實(shí)用新型]一種掃描電鏡樣品臺(tái)

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200720157306.3
• 申請(qǐng)日: 2007-11-16
• 公開（公告）號(hào): CN201122146Y
• 公開（公告）日: 2008-09-24
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭紅;李正民;馮柳;杜守旭;陳志偉
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 山東理工大學(xué)
• 主分類號(hào): G01N13/10
• 分類號(hào): G01N13/10;G01N23/00
• 代理公司: 淄博科信專利商標(biāo)代理有限公司
• 代理人: 吳紅

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型提供一種掃描電鏡樣品臺(tái)，屬于測(cè)量?jī)x器技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

掃描電鏡是利用電磁透鏡來(lái)掃描成像的，對(duì)磁性試樣要預(yù)先去磁，以免觀察時(shí)電子束受到磁場(chǎng)的影響。在內(nèi)部磁場(chǎng)的作用下，即使是非磁性試樣也有可能被磁化。掃描電鏡工作時(shí)需要掃描電鏡樣品臺(tái)來(lái)承載掃描電鏡樣品座。現(xiàn)有的掃描電鏡樣品臺(tái)有兩種：一種是用于做掃描SEM和能譜EDS的樣品臺(tái)，包括安裝樣品座的圓臺(tái)和用于將圓臺(tái)安裝在掃描電鏡樣品室上的底座；另一種是用于做電子背散射衍射EBSD的樣品臺(tái)，包括一圓臺(tái)，圓臺(tái)的底部設(shè)有與掃描電鏡樣品室螺紋連接的螺桿，其頂端中心設(shè)一插電子背散射衍射專用座的圓孔，專用座插入圓孔后，樣品座再安裝到專用座的插孔中固定。其缺陷是：1、第一種樣品臺(tái)的圓臺(tái)與底座、底座與掃描電鏡樣品室的安裝位置不易對(duì)準(zhǔn)，容易損壞掃描電鏡的分子泵，且樣品座是插入圓臺(tái)的孔中，當(dāng)樣品座距離電子槍的極靴非常近，被磁化了的樣品座及樣品座上的樣品就有可能被吸到電鏡的核心部位極靴上而對(duì)電鏡造成致命危害；2、樣品座的尺寸單一，不能適應(yīng)各種尺寸的樣品；3、第一種樣品臺(tái)不能取代第二種，第二種樣品臺(tái)可以取代第一種，但只能插一個(gè)樣品座，因原有的樣品座很小，所以一次只能測(cè)試一個(gè)樣品，測(cè)試效率低。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的目的是提供一種能克服上述缺陷、功能齊全、通用性強(qiáng)的掃描電鏡樣品臺(tái)。其技術(shù)方案為：

包括樣品座和圓臺(tái)，其中圓臺(tái)的底部設(shè)有與掃描電鏡樣品室螺紋連接的螺桿，其頂端中心設(shè)有安裝樣品座的孔，其特征在于：樣品座為一組，尺寸大小不一，孔為螺孔，樣品座插入孔的端部設(shè)有螺紋。

其工作原理為：1、用于做掃描SEM和能譜EDS時(shí)，圓臺(tái)經(jīng)底部設(shè)置的螺桿與掃描電鏡樣品室螺紋連接為一體，然后根據(jù)樣品的多少，選擇一大小相應(yīng)的樣品座螺紋旋入圓臺(tái)的孔中固定，最后把樣品固定到樣品座上，即可對(duì)樣品進(jìn)行SEM和EDS的觀測(cè)；2、用于做EBSD時(shí)，圓臺(tái)經(jīng)底部設(shè)置的螺桿與掃描電鏡樣品室螺紋連接為一體，電子背散射衍射專用座插入圓臺(tái)頂端中心設(shè)置的孔中，再將樣品座安裝到專用座的插孔中固定，最后把樣品固定到樣品座上，即可對(duì)樣品進(jìn)行EBSD檢測(cè)。

本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有如下優(yōu)點(diǎn)：

1、即可用于做EBSD，也可以用于做SEM和EDS，通用性強(qiáng)，免去來(lái)回安裝更換，損壞儀器；

2、在圓臺(tái)頂端中心設(shè)有安裝插樣品座的螺孔，與其對(duì)應(yīng)，樣品座插入孔的端部設(shè)有螺紋，這樣就可以實(shí)現(xiàn)對(duì)樣品座的固定，防止被磁化了的樣品座及樣品座上的樣品被吸到電鏡的核心部位極靴上而對(duì)電鏡造成致命危害；

3、樣品座為一組，尺寸大小不一，可以根據(jù)樣品的多少，選擇大小相應(yīng)的樣品座，同時(shí)做多個(gè)樣品，工作效率高。

附圖說(shuō)明

圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例2的結(jié)構(gòu)示意圖。

圖中：1、樣品座??2、圓臺(tái)??3、螺桿??4、孔??5、電子背散射衍射專用座??6、插孔??7、螺孔

具體實(shí)施方式

圖1所示的實(shí)施例1用于做SEM和EDS：圓臺(tái)2的底部設(shè)有與掃描電鏡樣品室螺紋連接的螺桿3，其頂端中心設(shè)有安裝樣品座1的孔4，與其對(duì)應(yīng)，樣品座1插入孔4的端部設(shè)有螺紋，樣品座1螺紋安裝在孔4內(nèi)。根據(jù)樣品的多少，選擇一大小相應(yīng)的樣品座1，再把樣品固定到樣品座1上，即可對(duì)樣品進(jìn)行SEM和EDS觀測(cè)。

圖2所示的實(shí)施例2用于做EBSD：圓臺(tái)2的底部設(shè)有與掃描電鏡樣品室螺紋連接的螺桿3，其頂端中心設(shè)有安裝電子背散射衍射專用座5的孔4，圓臺(tái)2經(jīng)底部設(shè)置的螺桿3與掃描電鏡樣品室螺紋連接為一體，電子背散射衍射專用座5螺紋旋入圓臺(tái)2頂端中心設(shè)置的孔4中，再將樣品座1安裝到電子背散射衍射專用座5的插孔6中，最后把樣品固定到樣品座1上，即可對(duì)樣品進(jìn)行EBSD檢測(cè)。