[實用新型]噴金儀樣品臺

無效

• 申請號: 200720157304.4
• 申請日: 2007-11-16
• 公開（公告）號: CN201116907Y
• 公開（公告）日: 2008-09-17
• 發明（設計）人: 郭紅;杜守旭;陳志偉;李正民;馮柳
• 申請（專利權）人: 山東理工大學
• 主分類號: G01N1/28
• 分類號: G01N1/28;G01N13/10;G01N23/00
• 代理公司: 淄博科信專利商標代理有限公司
• 代理人: 吳紅

技術領域

本實用新型提供一種噴金儀樣品臺，屬于測量儀器技術領域。

背景技術

掃描電子顯微鏡要求試樣必須導電，對于不導電的物質要通過鍍膜(Au.Pt.Au-Pd)使其導電，我們目前使用的是英國Quorum?Technologies?LTD公司生產的高精密噴金儀，它首先要通過真空泵抽真空，然后采用離子濺射的方法，在樣品表面噴鍍一定厚度的白金。如果鍍層太薄的話，樣品會由于放電現象而導致圖像不清。由于抽真空需要較長時間，且Pt靶非常昂貴，而此噴金儀自配的樣品臺最多放置6個樣品座的槽，樣品座活動安裝在槽中，所以每次花費大量時間最多只能噴鍍6個樣品，且成本很高。假如一個客戶恰好送來7個樣品的話，必須噴鍍兩次，成本就要加倍。所以如何盡量減少成本而保持較好的成像效果是我們要解決的一個重要問題。

實用新型內容

本實用新型的目的是提供一種能解決上述問題、且無須拆卸原樣品臺、工作性能優良的噴金儀樣品臺。其技術方案為：

包括一帶底座的樣品承載臺，樣品承載臺上設有6個均布在同一圓周上放置樣品座的槽孔，其特征在于：增設一個面積大、均布有更多個槽孔的圓臺，圓臺的底部中心設有與樣品承載臺相吻合的凹槽，圓臺經凹槽扣合在樣品承載臺的上端面上。

所述的噴金儀樣品臺，多個槽孔均布在環繞圓臺中心直徑不同的兩個圓周上。

所述的噴金儀樣品臺，圓臺的槽孔內設有螺紋。

其工作原理為：當樣品不大于6個時，放入原有的樣品承載臺的槽孔內噴金即可；多于6個，就將圓臺扣合在樣品承載臺的上端面上，再將樣品放入圓臺的槽孔內噴金即可，這樣大小不同的多個樣品座就可以同時放入圓臺上同時噴金。

本實用新型與現有技術相比，其優點為：1.無須拆卸原樣品臺，不會損害儀器；2.操作簡單，使用方便；3.一次可噴鍍多個樣品，節省大量白金，延長Pt靶的使用壽命；4.節省時間，提高工作效率。

附圖說明

圖1是本實用新型實施例的結構示意圖；

圖2是圖1所示實施例中圓臺的俯視圖。

圖中：1、底座?2、樣品承載臺?3、槽孔?4、圓臺?5、凹槽?6、槽孔?7、樣品座

具體實施方式

樣品承載臺2上設有6個均布在同一圓周上放置樣品座7的槽孔3，底座1固定在樣品承載臺2的底部中心，增設一個面積大、設有20個槽孔6的圓臺4，圓臺4的底部中心設有與樣品承載臺2相吻合的凹槽5，圓臺4經凹槽5扣合在樣品承載臺2的上端面上，圓臺4上的20個槽孔6均布在環繞圓臺4中心直徑不同的兩個圓周上，其中部分槽孔6中安裝有大小不同的樣品座7。

根據需要，圓臺4的槽孔6內也可設有螺紋。