[實用新型]視線外磁過濾金屬蒸汽真空弧等離子體沉積多層膜鍍膜機無效
| 申請號： | 200720155522.4 | 申請日： | 2007-07-05 |
| 公開（公告）號： | CN201132849Y | 公開（公告）日： | 2008-10-15 |
| 發明（設計）人： | 吳先映;李強;張薈星;張孝吉;彭建華;劉安東 | 申請（專利權）人： | 北京師范大學 |
| 主分類號： | C23C14/32 | 分類號： | C23C14/32;C23C14/14 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 100875北*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 視線 過濾 金屬 蒸汽 真空 等離子體 沉積 多層 鍍膜 | ||
【權利要求書】：
1.一種視線外磁過濾金屬蒸汽真空弧等離子體沉積多層膜鍍膜機。其特征在于至少兩臺視線外磁過濾金屬蒸汽真空弧等離子體沉積源以一定的夾角安裝在一臺真空鍍膜室同一平面上，鍍膜工件臺可以靈活轉動與等離子體沉積源工作狀態配合，并在工件臺上加上適當的負偏壓，不同的等離子體源順序或交替工作，實現多層鍍膜功能。
2.根據權力要求1所述結構的視線外磁過濾金屬蒸汽真空弧等離子體沉積多層膜鍍膜機，其特征在于工件臺上施加的負偏壓根據工作要求可以是直流、脈沖或直流與脈沖的疊加。
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