[實用新型]全自動往復式寬幅X射線薄膜測厚儀

無效

• 申請號: 200720151709.7
• 申請日: 2007-06-22
• 公開（公告）號: CN201094009Y
• 公開（公告）日: 2008-07-30
• 發明（設計）人: 靳其兵
• 申請（專利權）人: 北京化工大學
• 主分類號: G01B15/02
• 分類號: G01B15/02
• 代理公司: 北京金富邦專利事務所有限責任公司
• 代理人: 孫伯慶;蔡志勇

1.一種全自動往復式寬幅X射線薄膜測厚儀，其特征在于，由下列各部分組成：掃描上探頭、掃描下探頭、機架、機械傳動裝置、PLC系統、現場控制柜、操作面板、上位機、模頭控制器；

所述的機架是安裝測厚儀的基礎，掃描上探頭和掃描下探頭安裝于其上；

所述的機械傳動裝置，根據來自PLC控制信號，通過伺服電機帶動測厚儀在機架上做往復式運動；

所述的掃描下探頭中主要放置x射線光管、高壓發生裝置、PLC200、模擬量采集模塊以及電壓分配板；其作用是發射x射線，并通過模擬量采集模塊采集x射線光管的工作狀態以及上探頭內部配件的溫度，并由PLC200傳送到控制柜中的PLC300，然后再由PLC300傳送到主控制室中的上位機進行存儲和顯示；

所述的掃描上探頭中主要放置x射線探測器、PLC200CPU、模擬量采集模塊以及電壓分配板；通過模擬量采集模塊采集x射線探測器溫度和x射線接收強度，其中溫度信號由PLC200CPU傳送到控制柜中的PLC300，然后再由PLC300傳送到主控制室中的上位機進行存儲和顯示；PLC300接收到掃描探頭傳送的x射線發射強度電壓信號和x射線接收強度電壓信號，根據厚度計算方法計算薄膜的厚度；

所述的PLC系統包括上下掃描探頭中PLC200CPU及模擬量采集模塊和控制柜中的PLC300CPU、開關量輸入/輸出模塊和軸定位模塊；

所述的現場控制柜中主要放置PLC、伺服功率驅動器、直流電源、控制開關；

所述的控制柜中的軸定位模塊、伺服功率驅動器以及PLC構成了測厚儀的伺服定位系統；

所述的操作面板用于在現場對測厚儀進行基本的運動控制；

所述的上位機完成數據采集、存儲、實時曲線顯示以及模頭控制的功能；

所述的模頭控制器接受上位機發出的控制信號調整模擬量輸出值，改變模頭螺栓的加熱功率，從而調整薄膜厚度。