[實(shí)用新型]勻光器及激光探測(cè)器

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200720149762.3
• 申請(qǐng)日: 2007-06-21
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201053898Y
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-04-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陸耀東;滿春陽(yáng);江一平;高和平;祝敏
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 北京光電技術(shù)研究所
• 主分類號(hào): G01J1/42
• 分類號(hào): G01J1/42
• 代理公司: 北京同立鈞成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 劉芳

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及勻光器及激光探測(cè)器，特別涉及使入射激光的能量在空間均勻分布的勻光器，以及可使用小面積傳感器的激光探測(cè)器；屬于激光測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域。

背景技術(shù)

在激光測(cè)量過(guò)程中，其測(cè)量精度的提高越來(lái)越受到人們的重視，目前激光探測(cè)器使用的常規(guī)的激光功率/能量傳感器主要有量熱型、熱釋型和光電型三種。由于受線性動(dòng)態(tài)范圍和抗激光破壞能力的限制，其測(cè)量范圍也受到了極大的限制。中國(guó)專利CN1740761A公開(kāi)了一種激光能量計(jì)，該激光能量計(jì)是在探測(cè)器前設(shè)置漫射式封閉空心柱面陶瓷腔作為衰減器，被測(cè)激光經(jīng)過(guò)陶瓷衰減腔后出射的激光光場(chǎng)均勻性得到了改善，同時(shí)可有效避免探測(cè)器的局部損傷問(wèn)題，可用于高能量密度激光的測(cè)量。

但上述方法的不足之處在于相同被測(cè)激光照射在激光探測(cè)器光敏面不同位置時(shí)，探測(cè)器的響應(yīng)度有較大變化。這種變化量在傳感器面積較小時(shí)更加明顯，這就限制了探測(cè)器測(cè)量精度的提高。

實(shí)用新型內(nèi)容

本實(shí)用新型的第一方面在于，提供一種勻光器，使入射激光的能量在空間均勻分布，同時(shí)降低激光的高功率/能量密度。

本實(shí)用新型的另一方面在于，提供一種激光探測(cè)器，對(duì)入射激光的照射點(diǎn)位置不敏感，提高探測(cè)器的面均勻性特性，使小光敏面積的傳感器也可以應(yīng)用于大口徑激光探測(cè)器。

為了實(shí)現(xiàn)上述第一方面，本實(shí)用新型提供了一種勻光器，該勻光器，由前接收板、勻光筒及后檔板封閉組成，勻光筒的入光側(cè)截面積大于出光側(cè)截面積，且勻光筒的直徑沿激光入射的方向至少有一單調(diào)遞減的區(qū)間，所述前接收板和/或后檔板由漫反射及漫透射材料構(gòu)成，所述勻光筒側(cè)壁由漫反射或鏡面反射材料構(gòu)成。

本實(shí)用新型的勻光器使入射激光的能量在空間均勻分布，且能降低激光的高功率/能量密度。

為了實(shí)現(xiàn)上述另一方面，本實(shí)用新型提供了一種激光探測(cè)器，包括勻光器和功率/能量傳感器，功率/能量傳感器置于勻光器的后方，勻光器由前接收板、勻光筒及后檔板封閉組成，勻光筒的入光側(cè)截面積大于出光側(cè)截面積，且勻光筒的直徑沿激光入射的方向至少有一單調(diào)遞減的區(qū)間，所述前接收板和/或后檔板由漫反射及漫透射材料構(gòu)成，所述勻光筒側(cè)壁由漫反射或鏡面反射材料構(gòu)成。

本實(shí)用新型的激光探測(cè)器，不僅抗激光破壞能力強(qiáng)、測(cè)量和應(yīng)用范圍大，還可以使探測(cè)器對(duì)入射激光的照射點(diǎn)位置不敏感，從而極大地提高探測(cè)器的面均勻性特性，使小光敏面積的傳感器也可以應(yīng)用于大口徑高功率/能量激光測(cè)量。

下面通過(guò)附圖和實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型的技術(shù)方案做進(jìn)一步的詳細(xì)描述。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的勻光器實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型的勻光器實(shí)施例2的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型的勻光器實(shí)施例3的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖4為本實(shí)用新型的勻光器實(shí)施例4的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本實(shí)用新型的激光探測(cè)器實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖6為本實(shí)用新型的激光探測(cè)器實(shí)施例2的結(jié)構(gòu)示意圖。

具體實(shí)施方式

本實(shí)用新型的勻光器實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)參見(jiàn)圖1，該勻光器包括前接收板1、勻光筒2及后檔板3。勻光筒的入光側(cè)截面積大于出光側(cè)截面積，且勻光筒的直徑沿激光射入的方向先保持不變后單調(diào)遞減，從圖1中可以看到勻光筒直徑單調(diào)遞減部分的變化是圓弧狀的。

前接收板1和/或后檔板3可由陶瓷材料、毛玻璃材料或乳白玻璃材料等漫反射及漫透射材料制成，勻光筒2側(cè)壁可以由陶瓷、乳白玻璃或毛玻璃等漫反射材料制成，也可以由鏡面、鍍金、鍍銀、鍍鋁等漫反射或鏡面反射材料制成。

由于陶瓷材料、毛玻璃材料或乳白玻璃材料具有良好的漫反射及漫透射性能，使得入射激光的部分能量直接被前接收板1漫反射，剩余的能量進(jìn)入勻光筒2內(nèi)；由于勻光筒2的側(cè)壁由陶瓷、乳白玻璃、毛玻璃等漫反射材料或由鍍金、鍍銀、鍍鋁等鏡面反射材料制成，使得入射到筒內(nèi)的激光再次漫射勻化或全反射勻化，當(dāng)激光穿過(guò)后檔板3后入射激光的能量已在空間均勻分布。

本實(shí)用新型的勻光器實(shí)施例2的結(jié)構(gòu)參見(jiàn)圖2，其與實(shí)施例1的區(qū)別在于勻光筒的直徑沿激光射入的方向先單調(diào)遞減后保持不變，從圖2可以看到勻光筒直徑單調(diào)遞減部分的變化是線性的，另外，前接收板與勻光筒一體設(shè)置。