[實用新型]一種高效的氬氣凈化裝置

無效

• 申請號: 200720149562.8
• 申請日: 2007-06-11
• 公開（公告）號: CN201099621Y
• 公開（公告）日: 2008-08-13
• 發明（設計）人: 熊玉華;尉秀英;秦光榮;苑鵬;毛昌輝;杜軍
• 申請（專利權）人: 北京有色金屬研究總院
• 主分類號: C01B23/00
• 分類號: C01B23/00
• 代理公司: 北京眾合誠成知識產權代理有限公司
• 代理人: 李光松

1.?一種高效的氬氣凈化裝置，其特征在于，該凈化裝置采用兩級吸氣劑型的凈化裝置，由彎成L型的外筒(11)將兩級凈化裝置連接起來；彎成L型的外筒(11的短段伸入第一級凈化裝置(10)上端，于過濾網(7)的上面，L型外筒(11)的長段伸入第二級凈化裝置(8)內，穿過上、下過濾網及過濾網間純化材料(9)，至下過濾網和底端部之間；外接第一控制閥(13)和壓力表(14)的外筒(11伸入第一級凈化裝置(10)上端，穿過上、下過濾網(7)及過濾網間純化材料(9)，至下端的過濾網和底端部之間，欲凈化的氬氣入口為第一控制閥(13)的進氣口；在第二級凈化裝置(8)上端的過濾網(7)上面，穿出一彎管，連接第二控制閥(6)至凈化后高純氬氣出口；在L型外筒(11)的水平段上連接第三控制閥(5)，第三控制閥(5)后面連接由熱偶計(3)、離子計(4)、分子泵(2)和機械泵(1)組成的真空系統。

2.?根據權利要求1所述高效的氬氣凈化裝置，其特征在于，所述兩級凈化裝置和三個控制閥的外面加裝純化材料激活用加熱爐(15)。

3.?根據權利要求1所述高效的氬氣凈化裝置，其特征在于，所述兩級凈化裝置的結構相同。

4.?根據權利要求1所述高效的氬氣室溫凈化器，其特征在于，所述一個凈化裝置的內徑47mm，高310mm，壁厚1.5mm的1Cr18Ni9Ti不銹鋼，兩個凈化裝置之間選擇6mm的管道和閥門來連接兩個圓筒；計算得容積為1.08升。

5.?根據權利要求1所述高效的氬氣室溫凈化器，其特征在于，所述過濾網的孔徑為5μm。