[實用新型]一種清洗設備的滾刷清洗單元

無效

• 申請號: 200720148907.8
• 申請日: 2007-04-25
• 公開（公告）號: CN201020465Y
• 公開（公告）日: 2008-02-13
• 發明（設計）人: 于凱
• 申請（專利權）人: 北京京東方光電科技有限公司
• 主分類號: B08B7/04
• 分類號: B08B7/04;B08B11/00
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司
• 代理人: 劉芳

技術領域

本實用新型涉及液晶顯示器(LCD)制造工藝中的設備，尤其涉及陣列基板制造工藝過程中，在絕緣層沉積前清洗工程中的清洗設備的滾刷清洗單元。

背景技術

近年來，隨著數字化電視的普及，傳統的CRT顯示由于其數字化困難，以及體積大，重量大，有輻射等缺點，已經出現了被新一代顯示技術替代的趨勢，代表性的新顯示技術有PDP，OLED，LCD等。其中，液晶顯示器(LCD)由于具有重量輕，體積薄，無輻射，耗電量小，顯示分辨率高等優點，已開始大量普及，開始成為主流產品。

液晶顯示器(LCD)陣列基板制造工藝過程中，絕緣層是確保電配線層絕緣的膜層。在絕緣層沉積前一般要經過清洗工程，以確保沉積效果。

圖1所示為現有技術中的清洗設備。如圖1所示，清洗設備包括：玻璃加載單元11、紫外光清洗單元21、滾刷清洗單元31、干燥單元41和玻璃卸載單元51。清洗設備的整個清洗過程是：玻璃首先放置于玻璃加載單元11，在前進的過程中首先經過紫外光清洗單元21，在該單元有三根紫外光燈管，通過照射基板可以清除基板表面的有機物，隨后基板進入滾刷清洗單元31，在該單元有滾刷、噴頭和暗流清洗等功能，可以有效清除基板表面的小顆粒、中顆粒、大顆粒和特大顆粒，隨后玻璃進入干燥單元41，在該單元可以吹干基板表面的水分，干燥過的基板最后進入玻璃卸載單元51，在該單元清洗后的基板被取走。

圖2所示為現有技術中滾刷清洗單元上部滾刷和噴頭噴淋方向的結構配置圖。如圖2所示，滾刷2設置在玻璃基板3的上方，多個噴頭1設置在滾刷2的上方，并按照箭頭所示的方向向滾刷2上噴灑清洗液，滾刷2旋轉清洗玻璃基板3，并同時沿著箭頭a所示的方向向前運動，玻璃基板3最后經過暗流清洗單元完成清洗。在清洗過程中，滾刷2與玻璃基板3上的膜層表面直接接觸，雖然去除微塵(Particle)的效果顯著，但是由于滾刷本身毛的分散性不均勻等缺點，同時也會在膜層表面留下劃痕。圖3所示是現有技術滾刷對玻璃表面不同壓入量時，膜層表面劃痕出現的程度測量圖。如圖3所示當毛刷不與膜層表面接觸而進行清洗工程時(壓入量為-1)，膜層表面沒有劃痕出現；而當毛刷與膜層有接觸時(壓入量為0～0.5)，膜層表面劃痕發生的程度隨著毛刷壓入量的增加而變得嚴重，這說明上部毛刷與玻璃表面接觸是導致劃痕發生的根源，這樣的劃痕是一種對顯示屏的視覺效果有重要影響的不良，它在屏點亮后，從正面可以直接觀察到成排的車痕狀條紋，嚴重影響了產品的良品率和價格。

實用新型內容

本實用新型的目的是針對現有技術的缺陷，提供一種清洗設備，通過去掉清洗設備上部滾刷，同時改變滾刷上方噴頭的噴淋方向，使噴頭迎著玻璃基板前進的方向噴淋，在不影響清洗效果情況下，消除由于清洗引起的膜層表面劃痕的目的。

為了實現上述目的，本實用新型提供一種清洗設備的滾刷清洗單元，包括：載物平臺；下部滾刷，設置在載物平臺下方；暗流清洗單元，設置在載物平臺末端上方，其中多個噴頭，直接設置在載物平臺上方，所述噴頭的噴灑方向與載物平臺成0～90度角度。

上述方案中，所述噴頭距載物平臺的高度為20～50cm。所述噴頭的噴灑方向與載物平臺的運動方向相向。所述下部滾刷的轉速為300～500rpm。所述下部滾刷的轉動方向與載物平臺的運動方向相同或相向。

相對于現有技術，本實用新型通過變更絕緣層沉積前清洗設備的滾刷清洗單元，即不使用上部滾刷和變更噴頭的噴淋方向，實現了既不影響清洗效果，又消除了絕緣層表面劃痕的目的。另外，由于不使用消耗性很高的上部滾刷，從而大大降低了生產成本。

下面結合附圖和具體實施例對本實用新型進行進一步更為詳細地說明。

附圖說明

圖1是現有技術中的清洗設備；

圖2是現有技術中滾刷清洗單元滾刷和噴頭噴淋方向的結構配置圖；

圖3是現有技術滾刷對玻璃表面不同壓入量時，膜層表面劃痕出現的程度測量數據圖；

圖4是本實用新型滾刷清洗單元噴頭噴淋方向示意圖；

圖5是本技術適用前后，滾刷清洗單元對玻璃表面顆粒(Particle)去除率的比較圖；

圖6本技術適用前后，滾刷清洗單元對絕緣層沉積前后不良點(Defect)去除率的比較圖。

圖中標記：1、噴頭；2、滾刷；3、玻璃基板；4、暗流清洗單元；11、玻璃加載單元；21、紫外光清洗單元；31、滾刷清洗單元；41、干燥單元；51、玻璃卸載單元。

具體實施方式