[實(shí)用新型]離子發(fā)生器以及凈化室系統(tǒng)

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200720146519.6
• 申請(qǐng)日: 2007-04-27
• 公開（公告）號(hào): CN201100934Y
• 公開（公告）日: 2008-08-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 中島浩貴;安棲健人;富田公平;石川展玄
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 歐姆龍株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H01T23/00
• 分類號(hào): H01T23/00;H05F3/04
• 代理公司: 隆天國際知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 高龍?chǎng)?/td>

技術(shù)領(lǐng)域

本實(shí)用新型涉及一種通過電極放電使凈化室內(nèi)的空氣(air)離子化且利用該離子中和被處理物表面所帶的靜電的離子發(fā)生器(除靜電器)、將離子發(fā)生器安裝在空氣凈化單元(空氣凈化器)的空氣噴出口之前的安裝方法，以及利用這些離子發(fā)生器和空氣凈化單元凈化凈化室內(nèi)部區(qū)域的凈化室系統(tǒng)。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體和液晶等的制造中，為了提高制造上的成品率等，要求從這些器件周邊的空氣中除去灰塵，以使空氣變成凈化(清潔)的空氣。因此，在制造這些器件時(shí)，通常，在被控制為潔凈的空氣環(huán)境的凈化室或凈化容器等(將這些總稱為凈化室)內(nèi)進(jìn)行制造。該凈化室的概念還包括局部凈化室，該局部凈化室設(shè)在其凈化室內(nèi)，用于使空氣在局部進(jìn)一步凈化。凈化室頂棚的上側(cè)設(shè)置有空氣凈化單元，通過該空氣凈化單元的空氣噴出口，將空氣由設(shè)置在頂棚的開口導(dǎo)入到凈化室內(nèi)，其中，該空氣凈化單元包括送風(fēng)扇和除去灰塵等的過濾器。通常導(dǎo)入到凈化室內(nèi)的空氣被導(dǎo)出到凈化室外，并再次被空氣凈化單元凈化而回流到凈化室內(nèi)。

在這樣的凈化室內(nèi)，若半導(dǎo)體器件或液晶器件等帶有靜電，則因該靜電會(huì)使含有灰塵的各種顆粒附著在器件上，從而會(huì)產(chǎn)生所制造的器件的品質(zhì)下降等問題。然而，僅用空氣的流動(dòng)難以除去因該靜電的原因而附著的灰塵等，另外，對(duì)于半導(dǎo)體或液晶的器件中的例如IC等可能會(huì)存在被靜電破壞的危險(xiǎn)性。因此，到目前為止，除了空氣凈化單元之外，為了除去上述靜電(除靜電)還要在頂棚開口設(shè)置離子發(fā)生器(專利文獻(xiàn)1)。

眾所周知，離子發(fā)生器是這樣的設(shè)備，即，利用通過放電針的電暈放電所產(chǎn)生的離子，使器件表面所帶的靜電荷被與其相反極性的離子中和，從而將該靜電從器件表面除去。

然而，到目前為止，相對(duì)隔開凈化室內(nèi)外的凈化室隔板，空氣凈化單元設(shè)置在凈化室外部區(qū)域，而離子發(fā)生器設(shè)置在凈化室內(nèi)部區(qū)域，所以需要分別進(jìn)行空氣凈化單元和離子發(fā)生器各自的安裝工序和布線工序，從而導(dǎo)致在該工序中所花費(fèi)的工時(shí)和成本的增加。

因此，考慮到將離子發(fā)生器組裝到空氣凈化單元中，這樣一來，僅需要安裝空氣凈化單元的工序而不需要另外安裝離子發(fā)生器的工序和布線工序，但是，在要求根據(jù)設(shè)置位置而變更空氣凈化單元的規(guī)格時(shí)，離子發(fā)生器的組裝位置會(huì)迫使空氣凈化單元的設(shè)計(jì)規(guī)格大幅度變更等，從而導(dǎo)致設(shè)計(jì)和制造上的成本增加。

另外，在單純地將空氣凈化單元和離子發(fā)生器作為分別獨(dú)立的結(jié)構(gòu)，并將他們一同設(shè)置在凈化室外部區(qū)域時(shí)，難以將來自空氣凈化單元的空氣噴出口的空氣不泄漏地、高氣密性且不引起亂流地供給到凈化室內(nèi)部區(qū)域。

此外，提出有一種風(fēng)扇一體化結(jié)構(gòu)的離子發(fā)生器(專利文獻(xiàn)2)。該專利文獻(xiàn)2中公開有這樣結(jié)構(gòu)的離子發(fā)生器，即，在風(fēng)扇殼體沿圓周方向相分離而設(shè)置正負(fù)兩個(gè)電極，并使分別設(shè)置在兩個(gè)電極的放電針向通風(fēng)路徑內(nèi)突出。然而，在該專利文獻(xiàn)2沒有公開具有過濾器等空氣凈化單元，并沒有公開一種技術(shù)予以解決將空氣凈化單元和離子發(fā)生器分別配置在凈化室外部區(qū)域時(shí)的上述問題。

專利文獻(xiàn)1：JP特開平9-73993號(hào)公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：JP特公平6-56797號(hào)公報(bào)

實(shí)用新型內(nèi)容

因此，本實(shí)用新型要解決的問題是，不需要分別獨(dú)立進(jìn)行空氣凈化單元和離子發(fā)生器的布線等工序，可減少該布線等工序所花費(fèi)的工時(shí)和成本，并且空氣凈化單元和離子發(fā)生器具有分別獨(dú)立的結(jié)構(gòu)的同時(shí)，能夠?qū)碜钥諝鈨艋瘑卧目諝鈬姵隹诘目諝猓邭饷苄缘亍⑶乙砸种苼y流減少的方式供給到凈化室內(nèi)部區(qū)域。

(1)本實(shí)用新型的第一方案的離子發(fā)生器，安裝在空氣凈化單元的空氣噴出口之前，其特征在于，具有殼體的結(jié)構(gòu)，該殼體通過被連接的多個(gè)殼體邊框，在中央部形成開口部分，該多個(gè)殼體邊框的整體呈能夠設(shè)置空氣凈化單元、且包圍空氣凈化單元的空氣噴出口的框架形狀；上述殼體的上表面形成能夠與空氣凈化單元的空氣噴出口周圍的面直接或者間接地緊貼在一起的平面，上述殼體的下表面形成能夠與凈化室隔板的開口周圍的面直接或者間接地緊貼在一起的平面，以使該離子發(fā)生器夾持在空氣凈化單元和凈化室隔板之間。

上述多個(gè)殼體邊框?yàn)槿齻€(gè)以上，不一定限定為實(shí)施方式中的四個(gè)。

在配置凈化室內(nèi)的局部凈化室時(shí)，凈化室隔板是將局部凈化室隔為該局部凈化室內(nèi)和外的板，在沒有局部凈化室、通常的凈化室中，凈化室隔板是將該凈化室隔為內(nèi)外的板。該板并不限定為板狀，也包括片狀、薄膜狀、幕狀等。另外，凈化室隔板的材料也沒有限定。