[實用新型]半導體設備的面板清洗裝置無效
| 申請號： | 200720144167.0 | 申請日： | 2007-08-31 |
| 公開（公告）號： | CN201094956Y | 公開（公告）日： | 2008-08-06 |
| 發明（設計）人： | 斯健全;瞿治軍 | 申請（專利權）人： | 上海華虹NEC電子有限公司 |
| 主分類號： | B08B3/02 | 分類號： | B08B3/02 |
| 代理公司： | 上海浦一知識產權代理有限公司 | 代理人： | 陳平 |
| 地址： | 201206上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半導體設備 面板 清洗 裝置 | ||
【權利要求書】：
1、一種半導體設備的面板清洗裝置，包括面板、供水模塊、控制氣路；其特征在于：
在面板內部的頂棚四周設置有分布若干噴嘴的水管，所述水管一端與所述供水模塊連通，水管上設有氣動水閥，氣動水閥通過氣路與所述控制氣路連接。
2、根據權利要求1所述的半導體設備的面板清洗裝置，其特征在于：所述噴嘴的最大噴灑角度為80～120°。
3、根據權利要求1所述的半導體設備的面板清洗裝置，其特征在于：所述水管的內徑為10±0.5mm。
4、根據權利要求1所述的半導體設備的面板清洗裝置，其特征在于：所述供水模塊出口的純水壓力為200±50kPa。
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