[實用新型]濺鍍機的冷卻裝置

無效

• 申請號: 200720141078.0
• 申請日: 2007-03-26
• 公開（公告）號: CN201031253Y
• 公開（公告）日: 2008-03-05
• 發明（設計）人: 賴翠仙
• 申請（專利權）人: 建銫科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 北京天平專利商標代理有限公司
• 代理人: 孫剛;趙海生

技術領域

本實用新型提供一種濺鍍機部件結構，尤指一種濺鍍機的冷卻裝置。

背景技術

參閱圖1所示，為習用濺鍍機的剖面示意圖，濺鍍機的結構主要包含有：

一濺鍍源10，該濺鍍源10以離子濺射原理，先利用電場使兩極間產生電子，這些加速電子會與真空腔中已預先充入的惰性氣體碰撞，使其帶正電，這些帶正電的粒子會受陰極(靶材)吸引而撞擊陰極，入射離子受到電場作用獲得動量，撞擊靶材表面的原子，這些原子受到正電離子的碰撞得到入射離子的動量轉移，被撞擊的靶材表面原子因接受入射離子的動量，對靶材表面下原子造成壓擠使其發生移位，此靶材表面下多層原子的擠壓，會產生垂直靶材表面的作用力而把表面原子碰撞出去，這些被碰撞出去的原子，最后終于沉積在被鍍物15上完成濺鍍；

一防著板結構11，該防著板結構11設于導軌結構12兩側，防著板結構11防止原子沉積于置物板14以外的機臺其他位置；

一導軌結構12，該導軌結構12設于輸送帶結構13的兩側，以導引置物板14移動方向；

一輸送帶結構13，該輸送帶結構13輸送置物板14經過濺鍍源10；

數置物板14，提供被鍍物15放置；

通過上述組成，被鍍物15置于置物板14，再將置物板14置于輸送帶結構13，經導軌結構12導引，而經過濺鍍源10完成濺鍍。

惟，其上述習用的濺鍍機，仍存在有下列缺失：

1.濺鍍源10的濺鍍過程會產生廢熱，而真空腔會有熱累積的問題，習用的濺鍍機只能利用金屬材質的機臺自然導熱散熱，但過程相當緩慢，造成溫度居高不下，影響被鍍物15因過高溫度產生變形等問題，造成不良品的增加。

2.因為被鍍物15無法耐高溫，所以習用的作法就是加快輸送帶的速度，以減短被鍍物15在高溫環境的時間，但短時間并不能濺鍍完全，所以增加濺鍍機制程使濺鍍完成，但如此不僅機臺成本增加，制程長度也變長，需要較大的場所才能擺設。

因此，針對上述習知結構所存在的問題點，如何開發一種更具理想實用性的創新結構，實消費者所殷切企盼，亦系相關業者須努力研發突破的目標及方向。

有鑒于此，創作人本于多年從事相關產品的制造開發與設計經驗，針對上述的目標，詳加設計與審慎評估后，終得一確具實用性的本實用新型。

發明內容

本實用新型目的在于，提供一種濺鍍機的冷卻裝置，以克服上述傳統結構的缺陷，達到降低制程高溫，使制程速度減慢，制程長度也可縮短，良率提升的實用效果。

解決問題的技術特點：提供一種濺鍍機的冷卻裝置，包含有：

一用于進行濺鍍作業的濺鍍源、一防著板結構、一用于輸送置物板經過濺鍍源的輸送帶結構及用于被鍍物放置的數置物板；其特征在于，

該防著板結構位于輸送帶結構兩側；

該防著板結構或/和輸送帶結構異于濺鍍區方向的表面，鎖固有可拆離的用于降溫濺鍍廢熱的冷卻裝置，該冷卻裝置包含有一控制冷卻效率的控制結構。

其中，該冷卻裝置為液體循環式冷卻裝置。

其中，該冷卻裝置為水循環式冷卻裝置。

其中，該冷卻裝置為熱管冷卻裝置。

其中，該控制結構為泵裝置。

其中，該控制結構為壓縮機裝置。

其中，該控制結構為風扇裝置。

其中，該防著板結構包含有二塊以上防著板，該防著板鎖設于濺鍍機的輸送帶結構兩側，冷卻裝置則鎖設于二防著板的異于濺鍍區的表面。

其中，該輸送帶結構包含有一區隔板，冷卻裝置裝設于區隔板的異于濺鍍區的表面。

對照先前技術的功效：

一、習用濺鍍機的冷卻不良，造成無法耐高溫的被鍍物產生變形，不良率居高不下，本實用新型的冷卻裝置得以強制冷卻，并可控制冷卻效率，所以被鍍物不致有因高溫產生變形的情形，良率得以提升。

二、習用濺鍍機的濺鍍過程高溫，所以為了不讓被鍍物變形，就需要加快輸送帶的速度，但如此會造成濺鍍不完全，而本實用新型的冷卻裝置得以控制降低濺鍍廢熱，所以制程速度得以減緩，濺鍍得以符合需求。

三、習用濺鍍機的濺鍍過程高溫，所以為了不讓被鍍物變形，就需要加快輸送帶的速度，但如此會造成濺鍍不完全，必須增加制程設備與制程長度及成本，場地也要配合增加，而本實用新型的控制降低制程廢熱，所以制程速度得以減緩，而制程也可以縮短。

有關本實用新型所采用的技術、手段及其功效，茲舉一較佳實施例并配合圖式詳細說明于后，相信本實用新型上述的目的、構造及特征，當可由之得一深入而具體的了解。

附圖說明