[實用新型]濺鍍機的防著板結構

無效

• 申請號: 200720141077.6
• 申請日: 2007-03-26
• 公開（公告）號: CN201031252Y
• 公開（公告）日: 2008-03-05
• 發明（設計）人: 賴翠仙
• 申請（專利權）人: 建銫科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/34
• 分類號: C23C14/34
• 代理公司: 北京天平專利商標代理有限公司
• 代理人: 孫剛;趙海生

技術領域

本實用新型提供一種濺鍍機部件，尤指一種濺鍍機的防著板結構。

背景技術

參閱圖1所示，為習用濺鍍機的剖面示意圖，濺鍍機的結構主要包含有：

一濺鍍源10，該濺鍍源10以離子濺射原理，先利用電場使兩極間產生電子，這些加速電子會與真空腔中己預先充入的惰性氣體碰撞，使其帶正電，這些帶正電的粒子會受陰極(靶材)吸引而撞擊陰極，入射離子受到電場作用獲得動量，撞擊靶材表面的原子，這些原子受到正電離子的碰撞得到入射離子的動量轉移，被撞擊的靶材表面原子因接受入射離子的動量，對靶材表面下原子造成壓擠使其發生移位，此靶材表面下多層原子的擠壓，會產生垂直靶材表面的作用力而把表面原子碰撞出去，這些被碰撞出去的原子，最后終于沉積在被鍍物15上完成濺鍍；

一防著板結構11，該防著板結構11設于導軌結構12兩側，防著板結構11防止原子沉積于置物板14以外的機臺其他位置；

一導軌結構12，該導軌結構12設于輸送帶結構13的兩側，以導引置物板14移動方向；

一輸送帶結構13，該輸送帶結構13輸送置物板14經過濺鍍源10；

數置物板14，提供被鍍物15放置；

通過上述組成，被鍍物15置于置物板14，再將置物板14置于輸送帶結構13，經導軌結構12導引，而經過濺鍍源10完成濺鍍。

惟，其上述習用的濺鍍機，仍存在有下列缺失：

1.濺鍍源10的濺鍍過程會有原子沉積在濺鍍區四周，所以防著板結構11與導軌結構12，均須在使用一段時間后，將之拆卸以利進行沉積物的清除，但每多一防著板或導軌，就增加一拆及裝防著板或導軌的時間，同時也浪費了人力。

2.習用的濺鍍機，其防著板與導軌分開制作與鎖固，所以防著板與導軌的強度也較差。

因此，針對上述習知結構所存在的問題點，如何開發一種更具理想實用性的創新結構，實消費者所殷切企盼，亦系相關業者須努力研發突破的目標及方向。

有鑒于此，創作人本于多年從事相關產品的制造開發與設計經驗，針對上述的目標，詳加設計與審慎評估后，終得一確具實用性的本實用新型。

發明內容

本實用新型目的在于，提供一種濺鍍機的防著板結構，以克服上述傳統結構的缺陷，達到減少組、拆次數，節省人力，同時提高防著板結構強度的效果。

解決問題的技術特點：一種濺鍍機的防著板結構，該濺鍍機包含有一向輸送帶結構及置物板方向濺鍍的濺鍍源、一輸送帶結構、數置物板及一由防著板構成的防著板結構，輸送帶上置放有置物板，而置物板上置放被鍍物，所述防著板結構位于輸送帶結構兩側；其特征在于：

該防著板結構的防著板一體成型有導軌。

其中，該防著板結構包括二塊以上的防著板，每一防著板均一體成型有導軌。

對照先前技術的功效：

一、習用濺鍍機的防著板結構與導軌結構系分別制作，再分別鎖設固定至濺鍍機，待使用過后須要清潔時，也須要分別將防著板結構與導軌結構拆下來清潔，再將清潔好的防著板結構與導軌結構分別鎖回濺鍍機，操作上每增一構件就要增加二倍的工作量，時間、人力也較浪費，而本實用新型的防著板一體成型有導軌，所以拆、裝次數得以減少，人力也較節省。

二、習用濺鍍機的防著板結構與導軌結構分別制作，所以防著板結構的強度較差，本實用新型的防著板與導軌一體成型制成，所以強度較強。

有關本實用新型所采用的技術、手段及其功效，茲舉一較佳實施例并配合圖式詳細說明于后，相信本實用新型上述的目的、構造及特征，當可由之得一深入而具體的了解。

附圖說明

圖1：是習用濺鍍機的剖面示意圖。

圖2：是本實用新型的其一實施例濺鍍機的剖面示意圖。

圖3：是本實用新型的其一實施例濺鍍機平面示意圖。

圖4：是本實用新型的其一實施例測鍍機流程示意圖。

具體實施方式

參閱圖2所示，本實用新型提供一種濺鍍機的防著板結構，其一實施例包括：