[實用新型]全面相消抗溫漂掃描探針顯微鏡探頭

無效

• 申請號: 200720130842.4
• 申請日: 2007-12-10
• 公開（公告）號: CN201210412Y
• 公開（公告）日: 2009-03-18
• 發明（設計）人: 陸輕鈾
• 申請（專利權）人: 中國科學技術大學
• 主分類號: G12B21/24
• 分類號: G12B21/24;G12B21/02;G01N13/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1、一種全面相消抗溫漂掃描探針顯微鏡探頭，包括探針座、樣品座，其特征在于還包括分別稱為左壓電管和右壓電管的兩個壓電管，所述左右壓電管并排站立并固定于基座，探針座設置于其中一個壓電管的自由端，樣品座設置于另一個壓電管的自由端并對著探針座，所述左右壓電管中至少包含一體或分體設置的一個X定位、一個Y定位和一個Z定位。

2、一種全面相消抗溫漂掃描探針顯微鏡探頭，包括探針座、樣品座，其特征在于還包括分別稱為左壓電管、中壓電管和右壓電管的三個壓電管，所述左中右壓電管并排站立并固定于基座，所述左壓電管和右壓電管分處中壓電管的兩側，所述左中右壓電管中至少包含一體或分體設置的一個X定位、一個Y定位和一個Z定位，探針座設置在中壓電管的自由端，樣品座橫跨中壓電管而設置于左右壓電管的自由端并對著探針座，所述探針座與樣品座的位置可對調。

3、根據權利要求2所述的全面相消抗溫漂掃描探針顯微鏡探頭，其特征在于所述中壓電管是XYZ定位壓電管而左右壓電管是兩個相同的壓電管。

4、根據權利要求3所述的全面相消抗溫漂掃描探針顯微鏡探頭，其特征在于所述左右壓電管或是相同的Z定位壓電管或是與中壓電管相同的XYZ定位壓電管。

5、根據權利要求2所述的全面相消抗溫漂掃描探針顯微鏡探頭，其特征在于所述中壓電管是XY定位壓電管而左右壓電管是兩個相同的Z定位壓電管。

6、根據權利要求2、3、4或5所述的全面相消抗溫漂掃描探針顯微鏡探頭，其特征在于在所述左中右壓電管中選一個具有Z定位的壓電管在其自由端與該自由端上設置的樣品座或探針座之間增設質量塊，該質量塊通過彈性體以彈力設置于所述自由端上。

7、根據權利要求2、3、4或5所述的全面相消抗溫漂掃描探針顯微鏡探頭，其特征在于所述左中右壓電管是等間距的。

8、根據權利要求7所述的全面相消抗溫漂掃描探針顯微鏡探頭，其特征在于所述左中右壓電管是等間距左右對稱排列且其對稱軸與左右對稱基座的對稱軸共軸。

9、一種全面相消抗溫漂掃描探針顯微鏡探頭，包括探針座、樣品座，其特征在于3-20個壓電管在旋轉對稱的基座上站立固定并排列成與基座共旋轉軸的旋轉對稱圖形，另有一個壓電管在基座上站立并固定于所述旋轉軸位置，探針座設置在該壓電管的自由端，樣品座橫跨該壓電管而設置于其它壓電管的自由端并對著探針座，所述探針座與樣品座的位置可對調，所述各壓電管中至少包含一體或分體設置的一個X定位、一個Y定位和一個Z定位。