[實用新型]雙探針同點測量掃描探針顯微鏡

無效

• 申請號: 200720130840.5
• 申請日: 2007-12-10
• 公開（公告）號: CN201163262Y
• 公開（公告）日: 2008-12-10
• 發明（設計）人: 陸輕鈾
• 申請（專利權）人: 中國科學技術大學
• 主分類號: G01N13/10
• 分類號: G01N13/10;G12B21/20
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1、一種雙探針同點測量掃描探針顯微鏡，包括基體、樣品座，其特征在于還包括第一探針、第二探針、第一Z定位器、第二Z定位器、定位座、XY壓電掃描器，樣品座固定于XY壓電掃描器上，第一Z定位器固定于定位座上，第一探針固定于第一Z定位器的移動端并指向樣品座構成第一Z調節器，第二Z調節器以下列三種方式之一構成：

(a)第二Z定位器固定于定位座上，第二探針固定于第二Z定位器的移動端并指向樣品座，定位座與XY壓電掃描器固定于基體上；

(b)第二探針固定于定位座上并指向樣品座，定位座固定于第二Z定位器的移動端，第二Z定位器與XY壓電掃描器固定于基體上；

(c)第二探針固定于定位座上并指向樣品座，XY壓電掃描器固定于第二Z定位器的移動端，第二Z定位器與定位座固定于基體上。

2、根據權利要求1所述的雙探針同點測量掃描探針顯微鏡，其特征是所述XY壓電掃描器上可增加Z定位，構成XYZ壓電掃描器。

3、根據權利要求1或2所述的雙探針同點測量掃描探針顯微鏡，其特征是所述第一Z定位器和第二Z定位器為并排設置并在所述XY或XYZ壓電掃描器上增設沿所述并排方向定位的定位器使得所述XY或XYZ壓電掃描器在該方向定位范圍增大。

4、根據權利要求1或2所述的雙探針同點測量掃描探針顯微鏡，其特征是：在所述XY壓電掃描器或XYZ壓電掃描器的掃描端上增設壓片，所述樣品座或固定于該壓片上或與該壓片為一體，在該壓片與所述XY或XYZ壓電掃描器的固定端之間增設拉力器，所述掃描端托住該壓片并與該壓片產生壓力，該壓片與所述掃描端之間電絕緣。

5、根據權利要求4所述的雙探針同點測量掃描探針顯微鏡，其特征是所述拉力器為彈簧、磁體、松緊繩、吊錘或壓片本身。

6、根據權利要求1或2所述的雙探針同點測量掃描探針顯微鏡，其特征在于第一Z定位器或第二Z定位器為壓電馬達、慣性馬達、螺絲調節或步進電機。

7、根據權利要求6所述的雙探針同點測量掃描探針顯微鏡，其特征在于慣性馬達包括壓電伸縮器、彈簧片、質量塊，壓電伸縮器伸縮端通過彈簧片以垂直于Z方向的彈力將質量塊夾住。