[實用新型]底射式激光修補裝置

有效

• 申請號: 200720129555.1
• 申請日: 2007-08-14
• 公開（公告）號: CN201107495Y
• 公開（公告）日: 2008-08-27
• 發明（設計）人: 彭志誠;陳貴榮;范沛琦;林益民;周培頌
• 申請（專利權）人: 揚朋科技股份有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13;B23K26/00
• 代理公司: 上海恩田旭誠知識產權代理有限公司
• 代理人: 丁惠敏

技術領域

本實用新型涉及一種基板的修補設備，特別是涉及一種底射式激光修補裝置。

背景技術

液晶基板在電極圖型化(electrode?patterning)制程中，常因為公差或污染產生缺陷，造成最終產品的畫面在缺陷點處恒亮或恒暗。所以要透過檢測設備尋找出每一個缺陷點的座標位置，再利用激光修補裝置將各缺陷點一一修補。

如圖1所示，現有一種底射式液晶激光修補裝置，包含有一個基座1、一個設置在該基座1上的承臺2、一個設置在該承臺2其中一側的X軸移載夾具3、一個設置在該承臺2下方的Y軸移載夾具4及一個架設在該Y軸移載夾具4上的激光發射器5。該承臺2用以承載一個液晶基板6，且由多數支長形板體201共同界定出一個承接面202，所述板體201均設有多數個氣孔203，且該承臺2借由所述氣孔203噴氣以讓液晶基板6氣浮在該承接面202上方，且該承接面202中段具有一道沿Y軸向延伸的縫隙204。該X軸移載夾具3具有一個沿一個X軸向設于該承臺1側邊上的線性滑軌301、一支沿該線性滑軌301位移的長臂302及二支設于該長臂302兩側的夾臂303，所述夾臂303用以夾持液晶基板6。該Y軸移載夾具4具有一個固設在該基座1上且沿一垂直于該X軸向的Y軸向位移的線性滑軌401。該激光發射器5是正對于該縫隙204。

借此，利用氣孔203噴氣以讓液晶基板6氣浮在該承接面202上方，以及利用該X軸移載夾具3夾持液晶基板6于X軸向產生位移，配合該激光發射器5由下朝上發射，對液晶基板6的Y軸向進行修補工作。

雖然，這種液晶激光修補裝置可達到預期的修補目的，但是實際應用時仍然有下列缺失：

一、前段檢測是在該液晶基板6固定狀態取得缺陷點座標，但是修補工作卻必須使該液晶基板6沿該X軸向移動，只要稍有誤差，就無法準確重現缺陷點的座標，例如因為制造組配的公差或使用一段后產生摩耗，導致X軸移載夾具3的長臂302相對于該承臺2并非平直，或是夾臂303相對于該長臂302產生歪斜時，則利用X軸移載夾具3搬移該液晶基板6，并不能與該縫隙204完全正交，就無法達到準確修補缺陷點的目的。

二、該液晶基板6是利用氣孔203噴氣以氣浮在該承接面202上方，并配合該X軸移載夾具3搬運產生移動，所以液晶基板6是在氣浮狀態下產生位移，位移且停止后仍會產生微震動，若立刻進行修補，會造成該激光發射器5對焦不準、激光修補不準確的缺失。

三、為了克服該液晶基板6在氣浮位移后需要穩住定位，在由動態轉成靜態時需要一定時間，則也會產生修補效率低的缺失。

實用新型內容

本實用新型的目的是在提供一種準確重現缺陷點座標且激光修補準確、效率高的底射式激光修補裝置。本實用新型的底射式激光修補裝置，是適用于對一個基板的一個修補面進行激光修補，并包含一個機架、一個設置在該機架的夾持單元、一個設置在該機架的支撐單元、一個設置在該機架的移載單元及一個安裝在該移載單元上且位在該基板下方的激光發射單元。該夾持單元具有一個定出一條基準線的定位組、二個對應該定位組的夾制組及一個與該定位組相對設置的推抵組，該基準線是沿一個第一方向延伸且供該基板其中一側邊抵靠定位，所述夾制組各具有多數個間隔設置的夾制部，所述夾制部是沿該第一方向對該基板另外兩個相對側邊夾制定位，該推抵組具有一個與該基準線配合以使基板沿一個垂直于該第一方向的第二方向定位的推抵件。該支撐單元是由多數個支撐件共同界定出一個沿水平設置的承托面，該承托面支撐該基板的修補面，所述支撐件沿垂直方向相對于基板產生升降，以及沿水平方向相對于該機架產生位移，以相對于該基板改變支撐位置。該移載單元具有一個沿該第一方向延伸的第一線性滑軌組、一個設置在該第一線性滑軌組上的滑板、一個組設在該滑板且沿第二方向延伸的第二線性滑軌組、一個設置在該第二線性滑軌組上的基座、一個驅動該滑板沿該第一方向相對于機架移動的第一驅動組及一個驅動該基座沿該第二方向相對于該滑板移動的第二驅動組。該激光發射單元受該移載單元運載沿該第一方向及第二方向相對于該基板產生位移，并具有一個對應該修補面的激光發射部。

本實用新型的有益效果在于：利用該夾持單元將基板沿水平方向夾制定位，利用該支撐單元的承托面使基板獲得穩固定位，再配合該移載單元運載該激光發射單元依缺陷點座標進行修補，達到準確重現缺陷點及準確修補的目的。

附圖說明

圖1是現有一種底射式液晶激光修補裝置的俯視組合示意圖；

圖2是本實用新型第一個較佳實施例的立體組合圖；

圖3是本實用新型上述較佳實施例的俯視組合示意圖；

圖4是沿圖3中的直線IV-IV所取的剖視示意圖；