[實用新型]導引環結構無效
| 申請號： | 200720126898.2 | 申請日： | 2007-10-16 |
| 公開（公告）號： | CN201151081Y | 公開（公告）日： | 2008-11-19 |
| 發明（設計）人： | 魏榮志 | 申請（專利權）人： | 魏榮志 |
| 主分類號： | B24B37/04 | 分類號： | B24B37/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中原信達知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 陳肖梅;謝麗娜 |
| 地址： | 中國臺*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 導引 結構 | ||
【權利要求書】：
1.一種導引環結構，為環形中空狀固設于一研磨頭端部，該導引環結構容納一晶圓并設置于一研磨盤上，其特征在于：
該導引環結構于一頂面形成一斜面及多個圓弧溝渠，該導引環結構的旋轉方向順向于該些圓弧溝渠的彎曲方向，而相對于該研磨盤旋轉方向，以于研磨旋轉時，研磨液能累積于該斜面處，將其研磨液經由該些圓弧溝渠進入該晶圓的一研磨面。
2.如權利要求1所述的導引環結構，其特征在于，該些圓弧溝渠的寬深的比例為2∶1。
3.如權利要求1所述的導引環結構，其特征在于，該導引環結構的材質為一塑料材質。
4.如權利要求1所述的導引環結構，其特征在于，該導引環結構的一底面設置多個螺孔以固定于該研磨頭上。
5.如權利要求1所述的導引環結構，其特征在于，該導引環結構為經由注塑成形而得的一體成型的結構。
6.如權利要求1所述的導引環結構，其特征在于，該斜面由該導引環結構的該頂面斜向至該導引環結構的外緣。
7.如權利要求1所述的導引環結構，其特征在于，該斜面為一光滑面。
8.如權利要求1所述的導引環結構，其特征在于，該斜面與一水平面形成一角度，其角度范圍由3度至45度之間。
9.如權利要求1所述的導引環結構，其特征在于，該導引環結構的內徑尺寸大于該晶圓的尺寸。
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