[實用新型]一種靜電放電防護器件無效

申請號：	200720106944.2	申請日：	2007-03-05
公開（公告）號：	CN201041804Y	公開（公告）日：	2008-03-26
發明（設計）人：	韓雁;崔強;董樹榮;霍明旭;杜宇禪;黃大海;曾才賦;洪慧;陳茗;杜曉陽;斯瑞珺;張吉皓	申請（專利權）人：	浙江大學
主分類號：	H01L27/04	分類號：	H01L27/04;H01L23/60
代理公司：	杭州求是專利事務所有限公司	代理人：	張法高
地址：	310027浙***	國省代碼：	浙江;33
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摘要：
搜索關鍵詞：	一種靜電放電防護器件
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【權利要求書】：

1.一種靜電放電防護器件，包括P型襯底(31)，其特征在于P型襯底(31)上設置P阱(32)，P阱(32)上設置有SiO₂氧化層(36)，SiO₂氧化層(36)上設置有多晶硅層，多晶硅層的一邊摻入P型雜質形成P+多晶硅注入區(33)，另一邊摻入N型雜質形成N+多晶硅注入區(35)，中間為本征多晶硅區(34)。

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