[實(shí)用新型]晶片移栽機(jī)放片裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200720103445.8
• 申請日: 2007-02-02
• 公開（公告）號: CN201007987Y
• 公開（公告）日: 2008-01-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 唐志強(qiáng)
• 申請（專利權(quán)）人: 唐志強(qiáng)
• 主分類號: H01L21/677
• 分類號: H01L21/677;H01L21/683
• 代理公司: 北京方韜法業(yè)專利代理事務(wù)所
• 代理人: 吳景曾

1.一種晶片移栽機(jī)放片裝置，它包括電機(jī)、同步帶、滑塊、直線導(dǎo)軌、吸嘴桿、吸嘴及晶片載盤座，由電機(jī)驅(qū)動(dòng)同步帶輪及同步帶，滑塊固定在同步帶上，滑塊的下端安裝在直線導(dǎo)軌上，吸嘴桿固定在滑塊的上端，吸嘴桿的一端固定裝有吸嘴；吸嘴位于晶片載盤座的中間位置，晶片載盤置于晶片載盤座上，吸嘴上端在晶片載盤下方；其特征在于：在吸嘴桿裝在滑塊的一端設(shè)有一套吸氣裝置，該吸氣裝置為在吸嘴桿內(nèi)有一盲孔，該孔的前端裝有吸嘴，吸嘴側(cè)壁封閉，該孔的后端裝有一氣嘴，該氣嘴與產(chǎn)生負(fù)壓的裝置的氣管相通。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶片移栽機(jī)放片裝置，其特征在于：所述的氣嘴與負(fù)壓發(fā)生器的氣管相連。