[實(shí)用新型]一種基于光纖干涉原理的納米測量機(jī)測頭無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200720096252.4 | 申請日： | 2007-06-05 |
| 公開（公告）號： | CN201066273Y | 公開（公告）日： | 2008-05-28 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 李艷寧;丁麗麗;郭彤;傅星;胡小唐 | 申請（專利權(quán)）人： | 天津大學(xué) |
| 主分類號： | G01B11/02 | 分類號： | G01B11/02 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限責(zé)任專利代理事務(wù)所 | 代理人： | 江鎮(zhèn)華 |
| 地址： | 300072天津*** | 國省代碼： | 天津;12 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 基于 光纖 干涉 原理 納米 測量 機(jī)測頭 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種基于光纖干涉原理的納米測量機(jī)測頭，包括壓電掃描管、探針夾持器、懸臂梁探針、由分束鏡和光纖構(gòu)成的斐索干涉儀及后續(xù)處理電路，其特征在于，探針夾持器固定在壓電掃描管的底端，其上設(shè)置有彈簧夾、凹槽、螺紋孔和窗口，探針置于凹槽內(nèi)，彈簧夾的一端通過螺紋孔固定在探針夾持器上，另一端夾持探針，分束鏡固定在窗口上，光纖、分束鏡、探針表面依次設(shè)在在一條光路，激光光源發(fā)射的激光經(jīng)過光纖傳輸、打在分束鏡后，分為反射光束和透射光束，透射光束打在微懸臂梁背面的反射表面上后反射的光束經(jīng)過分束鏡后與先前的反射光束相干涉，干涉信號經(jīng)過光纖輸出，經(jīng)光電二極管轉(zhuǎn)換后進(jìn)入后續(xù)處理電路。
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