[實用新型]一種一次可生產三根硅芯或其它晶體材料的高頻線圈

無效

• 申請號: 200720089458.4
• 申請日: 2007-02-13
• 公開（公告）號: CN201024224Y
• 公開（公告）日: 2008-02-20
• 發明（設計）人: 劉朝軒
• 申請（專利權）人: 劉朝軒
• 主分類號: C30B13/20
• 分類號: C30B13/20;H05B6/42
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域：

本實用新型涉及高頻線圈技術領域，尤其是一種一次可生產三根不同形狀硅芯或其它晶體材料的高頻線圈。

背景技術：

目前，在硅芯、單晶硅及其它材料晶體區熔方式生產的工藝過程中，大多使用的是一種單目高頻線圈，其工作原理如下：工作時給高頻線圈通入高頻電流，產生磁力線對原料棒進行感應加熱，使原料棒上端頭形成熔化區，然后將仔晶插入熔化區，慢慢提升仔晶，熔化后的原料就會跟隨仔晶上升，形成一個新的柱型晶體，這個新的柱型晶體便是硅芯或其它材料晶體的制成品。然而這種高頻線圈的缺點是一次只能拉制一根硅芯或其它材料晶體，效率太低，造成人力及能源的大量浪費。雖然這種高頻線圈也可以通過加大內孔，使其能一次拉制多根硅芯或其它晶體，但需要數倍地增加功率，會對能源造成更大浪費，因而這種方法是極不可取的。

發明內容：

本實用新型為了克服現有高頻線圈的上述不足，經過本人多次實驗、現提供一種一次可生產三根硅芯或其它晶體材料的高頻線圈。該一次可生產三根硅芯或其它晶體材料的高頻線圈不僅可大大地提高工作效率，且具有加熱均勻、節約能源、增加產量等優點。

為了實現上述發明的目的，本實用新型采用如下技術方案；

一種一次可生產三根硅芯或其它晶體材料的高頻線圈，在高頻線圈上部設有帶斜面的高頻線圈上面，下部設有梯形的高頻線圈下面，在高頻線圈的中部設有三個內孔；其冷卻水道環繞高頻線圈，并在高頻線圈斜開口處的兩側與電流輸送暨冷卻水輸送銅管及另一根電流輸送暨冷卻水輸送銅管固定連接。

該一次可生產三根硅芯或其它晶體材料的高頻線圈，其高頻線圈下部設置的梯形高頻線圈下面可由多個階梯組成。

該一次可生產三根硅芯或其它晶體材料的高頻線圈，其高頻線圈上部設置的高頻線圈上面可由外至內形成一個斜坡。

該一次可生產三根硅芯或其它晶體材料的高頻線圈，其冷卻水道可以直接在高頻線圈上開槽，然后埋入銅管再由金屬釬焊固定。

該一次可生產三根硅芯或其它晶體材料的高頻線圈，其冷卻水道可以直接在高頻線圈上開槽，然后利用銅板覆蓋并由金屬焊接縫隙固定。

該一次可生產三根硅芯或其它晶體材料的高頻線圈，其斜開口慣通至三個環繞排列內孔(8)中的其中一個。

該一次可生產三根硅芯或其它晶體材料的高頻線圈，其三個內孔為環繞排列。

該一次可生產三根硅芯或其它晶體材料的高頻線圈，其高頻線圈中部設置的三個內孔可設計為圓形內孔、方形內孔、長方形內孔、三角形內孔、多邊形內孔、不規則多邊形內孔、菱形內孔、梯形內孔、長圓形內孔及橢圓形內孔。

該一次可生產三根硅芯或其它晶體材料的高頻線圈，其內孔形狀設計為帶角時可以使用帶角度的設計。

該一次可生產三根硅芯或其它晶體材料的高頻線圈，其內孔在設計為帶角時同樣可以使用內角倒圓的方法來實現。

由于采用上述技術方案，本實用新型具有如下優越性；

本實用新型由于采用三孔同時出料的高頻線圈技術，一次可同時拉制三根硅芯或其它晶體材料，使用此高頻線圈可大大提高生產效率，提高能量利用率，降低生產成本，增加產量、且具有加熱均勻、大量節約能源、減少設備投資及人工綜合成本可有效降低等優點，易于在多晶硅行業推廣實施。

附圖說明：

圖1是高頻線圈的平面結構示意圖。

圖2是圖1的A-A視圖。

圖3是高頻線圈的工作原理示意圖。

圖4是高頻線圈的電流在高頻線圈的工作流向原理示意圖

圖5是高頻線圈的圓形內孔示意圖。

圖6是高頻線圈的方形內孔示意圖。

圖7是高頻線圈的方形內角倒圓內孔示意圖。

圖8是高頻線圈的長方形內孔示意圖。

圖9是高頻線圈的長方形內角倒圓內孔示意圖。

圖10是高頻線圈的三角形內孔示意圖。

圖11是高頻線圈的三角形內角倒圓內孔示意圖。

圖12是高頻線圈的多邊形內孔示意圖。

圖13是高頻線圈的不規則邊形內孔示意圖。

圖14是高頻線圈的菱形內孔示意圖。

圖15是高頻線圈的菱形內角倒圓內孔示意圖。

圖16是高頻線圈的梯形內孔示意圖。

圖17是高頻線圈的梯形內角倒圓內孔示意圖。

圖18是高頻線圈的長圓形內孔示意圖。

圖19是高頻線圈的橢圓形內孔示意圖。