[實用新型]靶面焦斑監測裝置無效
| 申請號： | 200720076826.1 | 申請日： | 2007-10-31 |
| 公開（公告）號： | CN201096986Y | 公開（公告）日： | 2008-08-06 |
| 發明（設計）人： | 任冰強;黃惠杰 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海光學精密機械研究所 |
| 主分類號： | G02B27/00 | 分類號： | G02B27/00;G01M11/00 |
| 代理公司： | 上海新天專利代理有限公司 | 代理人： | 張澤純 |
| 地址： | 201800上*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 靶面焦斑 監測 裝置 | ||
【權利要求書】：
1一種用于激光打靶的靶面焦斑監測裝置，其特征在于包括：
平行激光束發射光路，包括激光光源(1)及沿該激光光源(1)的出射光方向依次的反射鏡(4)、聚焦鏡(5)、分光棱鏡(6)和主物鏡(7)構成，所述的聚焦鏡(5)的焦點位于主物鏡(7)的焦面上；
靶面成像光路，由依次的主物鏡(7)、分光棱鏡(6)、由初級顯微物鏡(9)和次級變倍顯微物鏡(10)組成，所述的主物鏡(7)的焦點位于初級顯微物鏡(9)的物面上，初級顯微物鏡(9)的像平面與次級變倍顯微物鏡(10)的物面重合；
所述的平行激光束發射光路與靶面成像光路通過所述的分光棱鏡(6)實現共光路；
光軸對接系統(8)，由第一反射鏡(801)和第二反射鏡(802)組成，所述的第一反射鏡(801)和第二反射鏡(802)都具有沿光軸移動、作俯仰與旋轉運動的調節機構；
圖像接收系統，包括CCD攝像機(11)和監視器(12)，所述的CCD攝像機(11)位于所述的次級變倍顯微物鏡(10)的像平面，所述的CCD攝像機(11)的輸出與所述的監視器(12)相連。
2、根據權利要求1所述的靶面焦斑監測裝置，其特征在于所述的主物鏡(7)是一擴束準直透鏡，其擴束后的通光口徑等于待監測的激光打靶光束的口徑。
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