[實用新型]可調(diào)移動墊鐵

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200720076045.2
• 申請日: 2007-11-13
• 公開（公告）號: CN201141505Y
• 公開（公告）日: 2008-10-29
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 吳榮基;劉育;袁志揚
• 申請（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: F16M7/00
• 分類號: F16M7/00
• 代理公司: 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所
• 代理人: 屈蘅;李時云

技術(shù)領(lǐng)域

本實用新型涉及一種移動墊鐵，特別涉及一種可調(diào)整高度并且具有自鎖及防振功能的可調(diào)移動墊塊。

背景技術(shù)

目前，在光刻機整機集成過程中，大多數(shù)設(shè)備都需要可調(diào)移動墊鐵，將其移動和提升到安裝位置，實現(xiàn)機械接口的連接。可調(diào)移動墊鐵就是一個移動和提升部件。

因而在設(shè)備的安裝時常常會使用調(diào)整墊鐵，但是傳統(tǒng)的調(diào)整墊鐵不能夠隨時整個移動，從而無法水平移動待安裝的設(shè)備。

另外，在狹小空間內(nèi)移動和安裝精密設(shè)備時，被移動和提升的設(shè)備本身體積就較大，而且在設(shè)備周圍有許多已經(jīng)安裝好的精密部件，因而造成安裝空間有限。而傳統(tǒng)的調(diào)整墊鐵不具備減振和自鎖功能，因而無法保證設(shè)備在安裝時穩(wěn)定不動，也無法保證設(shè)備在晃動中不與其他精密部件相碰撞，不能滿足安裝要求。

因此，需要提供一種可調(diào)移動墊鐵，來實現(xiàn)狹小空間設(shè)備安裝的要求。

實用新型內(nèi)容

本實用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種可調(diào)移動墊鐵，以水平移動待安裝設(shè)備，并且在移動和提升設(shè)備時，特別是在狹小空間移動和提升設(shè)備時，保證設(shè)備穩(wěn)定運行，在安裝設(shè)備時保證設(shè)備穩(wěn)定不動。

為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型是這樣實現(xiàn)的：一可調(diào)移動墊鐵，包括一具有下斜面的上塊，一具有上斜面的下塊，該上斜面與該下斜面可相對滑動，及一螺桿，該螺桿的一端安裝在該下塊的一側(cè)，其進一步包括：

數(shù)個壓入型鋼珠滾輪，其安裝在該下塊的下方；

其中該螺桿的一端安裝有一六角法蘭螺母，并且該螺桿的另一端沿軸向延伸入該上塊的內(nèi)部。

上述的可調(diào)移動墊鐵，其進一步包括：一安裝在該上塊上方的墊片。

上述的可調(diào)移動墊鐵，其進一步包括：該下塊的上方部位沿軸向具有一導(dǎo)軌槽，該上塊通過該螺桿安裝在該下塊的導(dǎo)軌槽中。

上述的可調(diào)移動墊鐵，其進一步包括：該墊片為有機材料并且可使用強力膠水安裝在該上塊的上方。

上述的可調(diào)移動墊鐵，其進一步包括：該下塊的底面與該上塊的頂面均水平設(shè)置并且保持平行。

上述的可調(diào)移動墊鐵，其進一步包括：上述上斜面與下斜面均為傾斜角度大于自鎖角度的斜面。

上述的可調(diào)移動墊鐵，其進一步包括：該壓入型鋼珠滾輪的數(shù)量為4個。

上述的可調(diào)移動墊鐵，其進一步包括：上述數(shù)個壓入型鋼珠滾輪，其經(jīng)由過盈配合的方式安裝在該下塊的下方。

本實用新型由于采用了上述的技術(shù)方案，使之與現(xiàn)有技術(shù)相比，具有以下的優(yōu)點和積極效果：

1、當該上塊與下塊自鎖后，經(jīng)由數(shù)個壓入型鋼珠滾輪的滾動，可水平移動待安裝設(shè)備；

2、在移動和提升設(shè)備時，特別是在狹小空間移動和提升設(shè)備時，保證設(shè)備穩(wěn)定運行，在安裝設(shè)備時保證設(shè)備穩(wěn)定不動；

3、整個裝置結(jié)構(gòu)緊湊，移動方便，調(diào)整靈活。

附圖說明

本實用新型的可調(diào)移動墊鐵由以下的實施例及附圖給出。

圖1為本實用新型的可調(diào)移動墊鐵主視圖；

圖2為本實用新型的可調(diào)移動墊鐵的俯視圖；

圖3為本實用新型的可調(diào)移動墊鐵的右視圖；

圖4為本實用新型的可調(diào)移動墊鐵的上塊移動到最低點的示意圖。

具體實施方式

以下將對本實用新型的可調(diào)移動墊鐵作進一步的詳細描述。

如圖1至圖3所示，該可調(diào)移動墊鐵10包括下塊1，上塊2，墊片3，六角薄螺母4，六角法蘭螺母5，螺桿6及數(shù)個壓入型鋼珠滾輪7。該下塊1的上方中央部位沿軸向具有一導(dǎo)軌槽011，該螺桿6的一端依次安裝有六角法蘭螺母5及該六角薄螺母4，并且該螺桿6安裝在該下塊1的一側(cè)。該螺桿6的另一端沿軸向延伸入該上塊2的內(nèi)部，因而該上塊2通過該螺桿6安裝在該下塊1的該導(dǎo)軌槽011中。該下塊1的底面與該上塊2的頂面均水平設(shè)置并且保持平行。該下塊1的一上斜面012與該上塊2的一下斜面022均為傾斜角度大于自鎖角度的斜面，該上斜面012與該下斜面022能經(jīng)由該螺桿6的轉(zhuǎn)動而相對運動。該墊片3為有機材料并且可使用強力膠水安裝在該上塊2的上方，以起到設(shè)備的減振作用。該壓入型鋼珠滾輪7的表面071是球面，經(jīng)由過盈配合的方式安裝在該下塊1的下方，在本實用新型中，該壓入型鋼珠滾輪7的數(shù)量為4個。

在安裝設(shè)備的過程中，該可調(diào)移動墊鐵10運用于精密儀器的狹小空間中，將設(shè)備放在該墊片3的上方，由于該上塊2可通過該螺桿6的轉(zhuǎn)動在該下塊1的導(dǎo)軌槽中滑動，從而在提升或降低設(shè)備的過程中可減小整個可調(diào)移動墊鐵10的占用空間。