[實用新型]離子束流密度和能量的同步測量裝置

無效

• 申請號: 200720075175.4
• 申請日: 2007-09-29
• 公開（公告）號: CN201102984Y
• 公開（公告）日: 2008-08-20
• 發明（設計）人: 王聰娟;晉云霞;邵建達
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: C23C14/54
• 分類號: C23C14/54
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司
• 代理人: 張澤純

1、一種用于離子源的離子束流密度和能量的同步測量裝置，其特征在于包括：采用磁屏蔽材料制成一圓柱形采集筒(2)，在圓柱形采集筒(2)內設置一筒形結構的離子過濾器(4)，其截面為一半圓形及一等腰直角三角形的一直角邊和斜邊圍合而成，在該采集筒(2)的側壁上及所述的離子過濾器(4)的半圓形和三角形的斜邊連接處采用磁屏蔽材料設一引流孔(1)，在離子過濾器(4)的半圓形位置設置碗形電子接收器(7)，在離子過濾器(4)的等腰直角三角形的直角邊和斜邊位置處設置一片狀陽離子接收器(6)，該離子過濾器(4)接地，但與所述的陽離子接收器和電子接收器絕緣，在該采集筒(2)內兩個端面分別設置電磁線圈(5)，該電磁線圈(5)與該采集筒(2)外的一可調恒壓直流電源相連，以在該采集筒(2)中離子過濾器(4)內建立恒定的可調的勻強磁場(3)，所說的陽離子接收器(6)經第一電阻(8)和第一毫安表(9)接地，所說的電子接收器(7)經第二電阻(9)和第二毫安表(11)接地。

2、根據權利要求1所述的離子束流密度和能量的同步測量裝置，其特征在于所述的陽離子接收器(6)的金屬片的尺寸與所述的引流孔(1)的尺寸相當，分別位于離子過濾器(4)的斜邊的兩側對稱放置，并互相垂直。

3、根據權利要求1所述的離子束流密度和能量的同步測量裝置，其特征在于所述的兩個電磁線圈(5)的中心同軸，二者之間的距離與線圈直徑相等。