[實用新型]漸變反射率鏡的鍍膜裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200720074889.3
• 申請日: 2007-09-21
• 公開（公告）號: CN201110900Y
• 公開（公告）日: 2008-09-03
• 發(fā)明（設計）人: 呂國暖;易葵;曾維強;王善成
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: G02B1/10
• 分類號: G02B1/10;G02B5/08
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司
• 代理人: 張澤純

1、一種用于電子槍蒸發(fā)鍍膜機的鍍制漸變反射率鏡的鍍膜裝置，包括安裝架(11)，其特征在于該安裝架(11)與一水平基板(15)固定相連，在該基板(15)之上通過支撐桿(18)連接一水平電機安裝板(6)，該電機安裝板(6)上設有第一步進電機(9)和第二步進電機(14)，所述的第一步進電機(9)和第二步進電機(14)通過第一彈性聯(lián)軸器(28)和第二彈性聯(lián)軸器(27)分別與擋板安裝盤旋轉軸(16)和基片旋轉軸(17)連接，所述的基片旋轉軸(17)和擋板安裝盤旋轉軸(16)通過軸承分別安裝在所述的基板(15)上，所述的基片旋轉軸(17)和擋板安裝盤旋轉軸(16)的下端分別與夾具支架(7)和擋板安裝盤(13)連接，所述的夾具支架(7)與供待鍍膜的基片放置的基片夾具(12)連接，所述的擋板安裝盤(13)設置了尺寸相同的第一圓孔(20)和第二圓孔(21)，第一圓孔(20)用于安裝鍍制變化厚度層的擋板(26)，第二圓孔(21)不安裝擋板，所述的擋板安裝盤(13)的邊緣上還設置了第一小圓孔(22)和第二小圓孔(23)，所述的第一小圓孔(22)與第一圓孔(20)的圓心在該擋板安裝盤(13)的同一直徑上，第二小圓孔(23)的圓心和第二圓孔(21)的圓心在該擋板安裝盤(13)的另一直徑上，該兩直徑相互垂直；

所述的基板(15)的下方的一側固定一側板(10)，所述的側板(10)的內側安裝一光電開關支架(8)，所述的光電開關支架(8)上安裝一凹槽式光電開關(19)，當所述的擋板安裝盤(13)被第一步進電機(9)驅動旋轉時，所述的第一小圓孔(22)或第二小圓孔(23)旋轉至所述的光電開關(19)的凹槽時，所述的光電開關(19)將通過所述的第一小圓孔(22)或第二小圓孔(23)發(fā)出定位信號，使所述的擋板安裝盤(13)定位不動；

所述的鍍制變化厚度層的擋板(26)的通孔具有特定的形狀，由所鍍制的漸變反射率鏡的設計決定；

所述的第二步進電機(14)和第一步進電機(9)通過真空室內的信號接口與室外的步進電機驅動器(24)連接，該步進電機驅動器(24)與控制器(25)相連，所述的光電開關(19)與控制器(25)相連接。

2、根據(jù)權利要求1所述的漸變反射率鏡的鍍膜裝置，其特征在于所述的安裝架(11)的結構與現(xiàn)有夾具安裝架(3)相同。