[實用新型]活塞氣缸減振機構

無效

• 申請號: 200720074739.2
• 申請日: 2007-09-17
• 公開（公告）號: CN201080989Y
• 公開（公告）日: 2008-07-02
• 發明（設計）人: 周宏權;嚴天宏;袁志揚
• 申請（專利權）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號: F16F15/023
• 分類號: F16F15/023;B41B17/18;G03F7/20;H01L21/027
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所
• 代理人: 屈蘅;李時云

1.一種活塞氣缸減振機構，包括一第一氣缸以及與所述第一氣缸相互咬合的第一活塞，所述第一活塞可以在所述第一氣缸腔體內部活動，其特征在于，所述活塞氣缸減振機構還包括設置于所述第一氣缸腔體內并位于第一氣缸以及第一活塞之間的偏擺機構，所述偏擺機構更進一步包括一個第二氣缸和一個柔性活塞長桿，所述第二氣缸裝配在第一活塞上或裝配在第一氣缸腔體內壁上，所述柔性活塞長桿一端置于第二氣缸內并與第二氣缸相互咬合且可在第二氣缸腔體內活動，另一端與第二氣缸相對應的裝配在第一氣缸腔體內壁上或裝配在第一活塞上。

2.根據權利要求1所述的活塞氣缸減振機構，其特征在于，所述柔性活塞長桿的活動端與第二氣缸咬合的外側壁上還套設一活塞長桿密封圈，以保證所述柔性活塞長桿的活動端與第二氣缸的內壁緊密接觸。

3.根據權利要求1所述的活塞氣缸減振機構，其特征在于，所述第一活塞與第一氣缸咬合的外側壁上還套設有第一活塞密封圈，以保證所述第一活塞與第一氣缸的密封性能。

4.根據權利要求1所述的活塞氣缸減振機構，其特征在于，所述第一活塞更進一步包括一環狀活塞以及一內活塞，所述環狀活塞與內活塞之間通過一圓盤薄膜聯接。

5.根據權利要求4所述的活塞氣缸減振機構，其特征在于，所述內活塞的外徑小于環狀活塞的內徑。

6.根據權利要求1所述的活塞氣缸減振機構，其特征在于，所述第二氣缸上還設有至少一橫向氣孔，用于連通所述第一氣缸與第二氣缸。

7.根據權利要求1所述的活塞氣缸減振機構，其特征在于，所述第一活塞上還設有一活塞蓋。

8.根據權利要求7所述的活塞氣缸減振機構，其特征在于，所述活塞蓋的中心位置還設有一活塞蓋孔。