[實用新型]研磨墊有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200720074738.8 | 申請日： | 2007-09-17 |
| 公開（公告）號： | CN201089114Y | 公開（公告）日： | 2008-07-23 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張偉光;夏志平;王懷鋒 | 申請（專利權(quán)）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號： | B24B37/04 | 分類號： | B24B37/04;B24D17/00 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 | 代理人： | 屈蘅;李時云 |
| 地址： | 2000*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 研磨 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種研磨墊，其特征在于，該研磨墊上設(shè)有若干個呈渦輪狀排列的溝槽。
2.如權(quán)利要求1所述的研磨墊，其特征在于：該溝槽包括若干個圓臺形溝槽和連接圓臺形溝槽的弧形溝槽。
3.如權(quán)利要求2所述的研磨墊，其特征在于：所述圓臺形溝槽大小相等且均勻分布。
4.如權(quán)利要求2所述的研磨墊，其特征在于：圓臺形溝槽的深度大于弧形溝槽的深度。
5.如權(quán)利要求2所述的研磨墊，其特征在于：圓臺形溝槽開口處的直徑大于弧形溝槽開口處的寬度。
6.如權(quán)利要求2所述的研磨墊，其特征在于：弧形溝槽的縱截面是矩形。
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