[實用新型]一種安全的小流量氣體純化裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200720074400.2 | 申請日： | 2007-09-05 |
| 公開（公告）號： | CN201101934Y | 公開（公告）日： | 2008-08-20 |
| 發(fā)明（設計）人： | 江曉松 | 申請（專利權）人： | 先普半導體技術(上海)有限公司 |
| 主分類號： | B01D53/04 | 分類號： | B01D53/04 |
| 代理公司： | 上海三和萬國知識產(chǎn)權代理事務所 | 代理人： | 劉立平;蔡海淳 |
| 地址： | 200000上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 安全 流量 氣體 純化 裝置 | ||
1.一種安全的小流量氣體純化裝置，包括設置有一進氣端(6)和一出氣端(7)的容器，容器內裝載有吸附劑，其特征是：
所述的容器為一長度/內徑比大于25的金屬管(1)；
所述金屬管的兩端，設置變徑式接頭(2)；
在變徑式接頭和管道的端口之間設置多孔材料過濾片(3)；
在兩端多孔材料過濾片之間的金屬管中，填充氣體吸附劑；
其中，在進氣端部分的管段內填充顆粒狀氣體吸附劑(4)，在出氣端的管段內填充粉末狀氣體吸附劑(5)；
在金屬管的中間部分區(qū)域，設置有受溫度控制電路(9)控制的加溫部件(8)，該區(qū)域為加溫區(qū)域。
2.按照權利要求1所述之安全的小流量氣體純化裝置，其特征是所述多孔材料過濾片(3)的孔隙尺寸在0.003到20微米之間。
3.按照權利要求1所述之安全的小流量氣體純化裝置，其特征是所述顆粒狀氣體吸附劑(4)的幾何尺寸為1到10毫米。
4.按照權利要求1所述之安全的小流量氣體純化裝置，其特征是所述粉末狀氣體吸附劑(5)的幾何尺寸為0.1到0.5毫米。
5.按照權利要求1所述之安全的小流量氣體純化裝置，其特征是所述金屬管中填充顆粒狀氣體吸附劑部分和粉末狀氣體吸附劑部分的長度比例為1∶5～5∶1。
6.按照權利要求1所述之安全的小流量氣體純化裝置，其特征是所述的金屬管(1)為直管、U型彎管或螺旋狀管。
7.按照權利要求1所述之安全的小流量氣體純化裝置，其特征是所述金屬管(1)內加溫區(qū)域的長度和金屬管總長度的比例為1∶2～1∶5。
8.按照權利要求1所述之安全的小流量氣體純化裝置，其特征是所述金屬管(1)的內壁為拋光面。
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