[實用新型]由介質棒引導的微波等離子體內壁處理機

有效

• 申請號: 200720074252.4
• 申請日: 2007-08-30
• 公開（公告）號: CN201114976Y
• 公開（公告）日: 2008-09-10
• 發明（設計）人: 梁榮慶;梁以資
• 申請（專利權）人: 復旦大學
• 主分類號: H05H1/46
• 分類號: H05H1/46
• 代理公司: 上海正旦專利代理有限公司
• 代理人: 陸飛;盛志范

1.一種由介質棒引導的微波等離子體內壁處理機，其特征在于，至少包含如下結構單元：

一個由真空泵操縱的從而可造成真空室(1)真空的真空系統；

一個能夠提供微波并由介質棒(2)引導微波到真空室(1)從而在介質棒(2)的表面產生等離子體的微波系統；

一個能夠提供工作氣體的氣瓶(14、15)并與其相聯通的管道的氣體注入系統。

2.根據權利要求1所述的由介質棒引導的微波等離子體內壁處理機，其特征在于，所述的真空系統由真空室(1)、真空室后蓋(4)、真空計(10)、真空泵(19)、真空閥門(18)、真空管道(17)組成；真空室(1)前端與耦合器(8)相連，真空室后蓋(4)位于后端，由鉸鏈(23)固定，可打開與關閉；真空計(10)位于真空室(1)上方，真空泵(19)與真空閥門(18)相連，位于真空室(1)的右下方，并通過真空管道(17)與真空室(1)內腔相聯通。

3.根據權利要求1所述的由介質棒引導的微波等離子體內壁處理機，其特征在于，所述的微波系統由磁控管(5)、微波出口接口(6)、矩形波導(7)、耦合器(8)、阻抗調配器(9)、介質棒(2)，活動支架(11)組成，其中介質棒(2)前端與耦合器(8)相連接后被固定在真空室(1)內腔，真空室(1)前端被封閉；活動支架(11)位于介質棒(2)下方，高度可以通過活動旋鈕(24)來調節；阻抗調配器(9)位于矩形波導(7)的上方。

4.根據權利要求1所述的由介質棒引導的微波等離子體內壁處理機，其特征在于，所述的氣體注入系統由氣瓶(14和15)，氣體閥門(16和20)，氣體流量計(21和22)，氣體管道(12)以及三通接口(13)所組成；其中氣瓶(14)與氣體閥門(20)、氣體流量計(22)相連接；氣瓶(15)提供工作氣體，與氣體閥門(16)、氣體流量計(21)相連接；氣瓶(14和15)提供的氣體在三通接口(13)處匯合，氣體管道(12)與真空室(1)內腔相連接。

5.根據權利要求3，所述的由介質棒引導的微波等離子體內壁處理機，其特征在于，所述的介質棒(2)的直徑為5-10cm。