[實(shí)用新型]模塊化的激光直刻裝置

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200720072320.3
• 申請(qǐng)日: 2007-07-10
• 公開（公告）號(hào): CN201063094Y
• 公開（公告）日: 2008-05-21
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 范永濤;徐文東
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20;B23K26/06;B23K26/08
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司
• 代理人: 張澤純

1.一種模塊化的激光直刻裝置，其特征在于它由激光調(diào)制模塊(1)、光點(diǎn)掃描模塊(2)、激光功率檢測(cè)模塊(3)、自動(dòng)聚焦模塊(4)和控制檢測(cè)模塊(5)構(gòu)成：

所述的激光調(diào)制模塊(1)包括激光器(101)和置于該激光器(101)的出射激光方向上的聲光調(diào)制器(102)、第一偏振分光鏡(103)、第一四分之一波片(104)、擴(kuò)束鏡(105)，其中第一四分之一波片(104)的長(zhǎng)軸方向和入射光的偏振方向成45°，第一偏振分光鏡(103)和第一四分之一波片(104)構(gòu)成光隔離器；

所述的光點(diǎn)掃描模塊(2)包括光譜分光鏡(201)、物鏡壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器(202)、顯微物鏡(203)、待寫樣品(204)、二維納米平臺(tái)(205)和一維電動(dòng)平移臺(tái)(206)，所述的顯微物鏡(203)固定在所述的物鏡壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器(202)上，待寫樣品(204)固定在所述的二維納米平臺(tái)(205)上，該二維納米平臺(tái)(205)又固定在一維電動(dòng)平移臺(tái)(206)上；

所述的激光功率檢測(cè)模塊(3)包括會(huì)聚透鏡(302)和光功率探測(cè)器(301)；

所述的自動(dòng)聚焦模塊(4)由半導(dǎo)體激光器(401)、第二四分之一波片(402)、第二偏振分光鏡(403)、濾光片(404)、球面會(huì)聚透鏡(405)、柱面會(huì)聚透鏡(406)和四象限光電探測(cè)器(407)組成，所述的第二四分之一波片(402)、第二偏振分光鏡(403)、濾光片(404)、球面會(huì)聚透鏡(405)、柱面會(huì)聚透鏡(406)和四象限光電探測(cè)器(407)與所述的光譜分光鏡(201)、顯微物鏡(203)、待寫樣品(204)同光軸；

所述控制和檢測(cè)模塊(5)包括一臺(tái)計(jì)算機(jī)(501)，該計(jì)算機(jī)(501)的輸入端分別與光功率探測(cè)器(301)的輸出端和四象限光電探測(cè)器(407)的輸出端相連，該計(jì)算機(jī)(501)的輸出端分別與激光器(101)、聲光調(diào)制器(102)、物鏡壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器(202)、一維電動(dòng)平移臺(tái)(206)和二維納米平臺(tái)(205)的控制端相連。