[實用新型]一種面板固定機構有效
| 申請號: | 200720071948.1 | 申請日: | 2007-06-29 |
| 公開(公告)號: | CN201084712Y | 公開(公告)日: | 2008-07-09 |
| 發明(設計)人: | 周海鋒;齊寶玉;高喜峰;夏冬軍 | 申請(專利權)人: | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/00 | 分類號: | H01L21/00;H01L21/67;F16B1/02 |
| 代理公司: | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人: | 王潔 |
| 地址: | 2012*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 面板 固定 機構 | ||
技術領域
本實用新型涉及固定技術,特別涉及一種面板固定機構。
背景技術
在半導體制造領域,諸多生產設備的設計首先會考慮生產設備與外界的隔離,于是就需要設計大的設備機殼以將生產設備與外界隔離開來,另外為方便設備的維修和保養,會在所述設備機殼上設置有開口,然后在所述開口上覆設面板,當需維修或保養設備時,只需將對應的面板取下,就可對設備進行保養或維修。
參見圖1,其顯示了現有的將面板固定在一設備機殼上的面板固定機構,所述設備機殼對應所述面板設置有凹槽,所述凹槽中部具有開口,所述面板固定機構包括手控件10、U形卡固件11和鎖固螺母12,其中,所述U形卡固件11兩側邊一高一低,所述手控件10具有相連的手柄100和連桿101,所述面板2對應所述連桿101設置有與其直徑相同的第一通孔(未圖示),所述U形卡固件11的低側邊上具有與第一通孔直徑相同的第二通孔,所述連桿101穿設在所述第一通孔和第二通孔內,所述手柄100緊貼面板2外側,所述連桿101在恰伸出第一通孔和第二通孔的位置上設置有螺紋,所述鎖固螺母12與所述螺紋旋合而將面板固定機構鎖固在面板2上。
上述面板固定機構在固定面板時,先將面板2設置在設備機殼的凹槽中,并同時轉動所述手柄100以使U形卡固件11轉動到不與設備機殼碰撞的位置,接著轉動手柄使U形卡固件11的長側邊進入設備機殼內側以鉤住設備機殼,從而將面板2固定在設備機殼上。
但是,上述的面板固定機構直接裝設在面板2上,當將面板2固定在設備機殼上時,裝設所述面板固定機構的部位就會承擔面板的一部分重量,長此以往,面板就易從所述固定部位開始疲勞損壞,從而會出現所述面板從固定部位撕裂的現象。
因此,如何提供一種面板固定機構來可靠且無損傷的固定面板,已成為亟待解決的技術問題。
實用新型內容
本實用新型的目的在于提供一種面板固定機構,通過所述面板固定機構可避免面板受損傷。
本實用新型的目的是這樣實現的:一種面板固定機構,其設置在一設備機殼上,用于將一面板固定在該設備機殼上,該設備機殼對應該面板設置有一凹槽,該凹槽中部具有一開口,該面板固定機構包括:一卡連件,其設置在設備機殼上且臨近該凹槽,其具有一底座和垂直設置在底座中部的第一連桿,該設備機殼在該凹槽外側設置有與該第一連桿直徑相同的第一通孔,該第一連桿穿設在該第一通孔中,該底座緊貼該設備機殼內壁,該第一連桿在恰露出設備機殼的位置上設置有一第二通孔;一擋固件,其設置在設備機殼外且與卡連件相連接并可沿該卡連件轉動以固定或松開該面板,該擋固件具有依次連接的擋固塊、連接柄和第二連桿,其中,該連接柄的直徑大于該第二通孔的直徑,該第二連桿的直徑與第二通孔的直徑相同,該第二連桿穿設在該第二通孔中,該連接柄緊貼該第一連桿,該第二連桿在恰伸出該第一連桿的位置上設置有第一結合部;一鎖固件,其與第一結合部結合而將擋固件鎖固在該卡連件上。
在上述的面板固定機構中,該設備機殼外側對應該卡連件還設置有隔離防護擋板,該隔離防護擋板上設置有與第一通孔直徑相同且對齊的第三通孔,該第一連桿穿設在該第一通孔和第三通孔中。
在上述的面板固定機構中,該隔離防護擋板上還設置有一用于限制該擋固件轉動位置的限位件。
在上述的面板固定機構中,該限位件為一檔板。
在上述的面板固定機構中,該第一結合部為螺紋。
在上述的面板固定機構中,該鎖固件為一與該螺紋匹配的螺母。
在上述的面板固定機構中,該擋固塊為一長方塊。
與現有技術中面板固定機構直接設置在面板上易造成面板從其設置部位開始的疲勞損壞相比,本實用新型的面板固定機構設置在設備機殼上,并在固定面板時通過擋固方式將面板固定在設備機殼上,如此可避免直接將面板固定機構設置在面板上所造成的面板損壞,大大提高了面板固定的安全性。
附圖說明
本實用新型的面板固定機構由以下的實施例及附圖給出。
圖1為現有技術的面板固定機構的組成結構示意圖;
圖2為本實用新型的面板固定機構的組成結構示意圖;
圖3為本實用新型的面板固定機構的安裝結構示意圖;
圖4為本實用新型的面板固定機構固定面板的示意圖。
具體實施方式
以下將對本實用新型的面板固定機構作進一步的詳細描述。
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H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
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H01L21-66 .在制造或處理過程中的測試或測量
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H01L21-70 .由在一共用基片內或其上形成的多個固態組件或集成電路組成的器件或其部件的制造或處理;集成電路器件或其特殊部件的制造





