[實用新型]傳送盒的搬運裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200720071923.1
• 申請日: 2007-06-29
• 公開（公告）號: CN201065258Y
• 公開（公告）日: 2008-05-28
• 發(fā)明（設計）人: 李雨庭;許端格;劉佩宜
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: B65G7/00
• 分類號: B65G7/00;H01L21/67;A45F3/10
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 王潔

技術領域

本實用新型涉及半導體生產中的運輸設備，具體地說，涉及一種搬運傳送盒的裝置。

背景技術

在晶圓制造工廠內，傳送盒是主要的晶圓存放設備，比較常用的是FOUPS(Front?Opening?Unified?Pods，前開式傳送盒)。工作人員使用運輸車(cart)將傳送盒運輸到貨架上或者自動物料搬運系統(tǒng)(AMHS)上。該運輸車一般可以運輸四個傳送盒，占有一定空間。由于晶圓的廠房的制造成本比較高，空間結構緊湊，每一空間都要充分利用，所以廠房的每個制程區(qū)內只能存放一定數量的運輸車。另外，廠房內設備擺放緊湊，操作走道空間減小，運輸車無法到達每一角落，所以有時候需要人工搬運。一個裝滿晶圓的傳送盒一般約有9.8公斤重，人工搬運容易導致工作人員手臂和肩膀酸痛，如果長期從事這種工作，就會嚴重損害工作人員的身體健康。

有鑒于此，需要提供一種新的傳送盒搬運裝置以改善上述問題。

實用新型內容

本實用新型解決的技術問題是提供一種既可以方便運輸又可以保護工作人員身體健康的傳送盒搬運裝置。

為解決上述技術問題，本實用新型提供了一種傳送盒的搬運裝置，其包括肩帶、系于工作人員腰部的腰帶以及用于放置傳送盒的托板，所述托板由腰帶以及肩帶共同固定。

所述托板具有與傳送盒面積匹配的凹槽，搬運過程中，傳送盒底部嵌于該凹槽內。進一步地，所述托板的凹槽的中心部分還可以是鏤空的。進一步地，所述托板還可以包括與腰帶連接的垂向延伸部，其減小托板對工作人員腰部單位面積的壓力。

所述托板包括可折疊的前部和后部，搬運傳送盒時，打開折疊的前部和后部使托板呈平板狀。

所述肩帶包括系于工作人員肩部的支撐部以及連接部，其中連接部一端與支撐部相連，另一端系于托板上。進一步地，所述肩帶的支撐部具有可以調節(jié)其長短的活動扣。

所述腰帶具有調節(jié)其長短的活動扣。

與現(xiàn)有技術相比，采用本實用新型的搬運裝置可以將傳送盒搬運至運輸車無法到達的地方，而且該搬運裝置的結構能夠減小搬運過程對工作人員手臂及腰部的壓力，避免了對工作人員身體的傷害。

附圖說明

圖1為本實用新型搬運裝置的背面示意圖。

圖2為本實用新型搬運裝置的正面示意圖。

圖3為安裝有本實用新型搬運裝置的工作人員搬運狀態(tài)的示意圖。

圖4為安裝有本實用新型搬運裝置的工作人員未搬運狀態(tài)的示意圖。

圖5為本實用新型搬運裝置的剛性件的示意圖。

圖6為本實用新型搬運裝置托板的俯視示意圖。

圖7為本實用新型搬運裝置托板的側視示意圖。

圖8為本實用新型搬運裝置托板的折疊狀態(tài)的俯視示意圖。

圖9為本實用新型搬運裝置的托板的另一種實施例側視示意圖。

具體實施方式

以下結合附圖對本實用新型的較佳實施例進行描述，以進一步理解其實用新型的目的、具體結構特征和優(yōu)點。

請參閱圖1至圖3，本實用新型傳送盒的搬運裝置包括兩條肩帶1、腰帶2以及放置傳送盒的托板3。

每一肩帶1包括支撐部11和連接部12，支撐部11系于工作人員的兩肩部上，兩自由末端分別通過維可牢尼龍搭扣(Velcro)固定于腰帶2上，當然該固定還可以其他方式如掛鉤的方式或者永久性固定方式。該兩支撐部11位于工作人員胸前的部分(以下稱“前部”)平行地(如圖2所示)固定于腰帶2上，而位于工作人員背上的部分(以下稱“后部”)則交叉地(如圖1所示)固定于腰帶2上，這種安裝方式可以增強肩帶1的穩(wěn)定性。另外，支撐部11還具有活動扣110，根據工作人員的高度調節(jié)支撐部11的長度。連接部12一端固定于支撐部11上，另一端固定于托板3上，該連接部12亦為可伸縮式的，可以根據工作人員的身高調節(jié)連接部12的長度，使托板3位于水平狀態(tài)，便于搬運傳送盒。

腰帶2的寬度以能夠包住工作人員腰部為準，這樣在搬運過程中，腰帶2不易發(fā)生變形，較好地保護工作人員的腰部。該腰帶2包括固定部21和活動扣22。固定部21與托板3的后緣連接與肩帶1的連接部11共同固定托板3，根據工作人員的身材，通過活動扣22調整腰帶2的長短。