[實用新型]一種排氣流量自動控制和監測裝置有效
| 申請號： | 200720071748.6 | 申請日： | 2007-06-27 |
| 公開（公告）號： | CN201097105Y | 公開（公告）日： | 2008-08-06 |
| 發明（設計）人： | 李勇剛 | 申請（專利權）人： | 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/16 | 分類號： | G03F7/16;G03F7/26;G03F7/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 王潔 |
| 地址： | 201203*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 排氣 流量 自動控制 監測 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.?一種排氣流量自動控制和監測裝置，其特征在于，至少包括排氣流量傳感器、電路控制模塊、執行元件模塊和排氣調節閥，排氣流量傳感器與涂膠顯影軌道機器的排氣管道支路相連；電路控制模塊分別與排氣流量傳感器、執行元件模塊相連；排氣調節閥置于排氣管道支路中；排氣管道支路與工廠的排氣主系統相連。
2.?如權利要求1所述的排氣流量自動控制和監測裝置，其特征在于，所述排氣流量傳感器是電子氣體壓力傳感器。
3.?如權利要求1或2所述的排氣流量自動控制和監測裝置，其特征在于，所述電路控制模塊至少包括單片機、限流電阻和三極管，所述單片機與所述排氣流量傳感器相連。
4.?如權利要求3所述的排氣流量自動控制和監測裝置，其特征在于，所述三極管的數目為六個。
5.?如權利要求3所述的排氣流量自動控制和監測裝置，其特征在于，所述單片機包括兩個中斷和四個輸出端口。
6.?如權利要求1或2所述的排氣流量自動控制和監測裝置，其特征在于，所述執行元件模塊至少包括馬達、皮帶、蝸桿、拖塊、連桿、圓盤、中軸桿，馬達通過皮帶與蝸桿相連，蝸桿嵌套于拖塊中，拖塊通過連桿與圓盤相連，中軸桿嵌套于圓盤的中心位置。
7.?如權利要求6所述的排氣流量自動控制和監測裝置，其特征在于，所述排氣調節閥固定于所述中軸桿上。
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