[實用新型]一種柔性連接裝置有效
| 申請號： | 200720071434.6 | 申請日： | 2007-06-22 |
| 公開（公告）號： | CN201051210Y | 公開（公告）日： | 2008-04-23 |
| 發明（設計）人： | 呂洋;袁志揚 | 申請（專利權）人： | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 王潔 |
| 地址： | 201203上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 柔性 連接 裝置 | ||
【權利要求書】：
1.一種柔性連接裝置，用于工件臺上橫梁(103)與Y向直線電機的動子(101a和101b)的連接，其特征在于：所述的柔性連接裝置包括主柔性塊(102a)和副柔性塊(102b)，橫梁(103)的兩端通過主柔性塊(102a)和副柔性塊(102b)分別與Y向直線電機的動子(101a和101b)連接。
2.如權利要求1所述的柔性連接裝置，其特征在于：所述的主柔性塊(102a)具有X向和Rz向的柔性。
3.如權利要求2所述的柔性連接裝置，其特征在于：所述的X向柔性是C型的薄片彈簧結構實現的。
4.如權利要求2所述的柔性連接裝置，其特征在于：所述的Rz向柔性是直線形的薄片彈簧結構實現的。
5.如權利要求1所述的柔性連接裝置，其特征在于：所述的副柔性塊(102b)具有Rz方向的柔性。
6.如權利要求5所述的柔性連接裝置，其特征在于：所述的Rz向柔性是直線形的薄片彈簧結構實現的。
7.如權利要求1所述的柔性連接裝置，其特征在于：所述的主柔性塊(102a)上裝有緩沖器(104a)和接觸開關(105a)。
8.如權利要求1所述的柔性連接裝置，其特征在于：所述的副柔性塊(102b)上裝有緩沖器(104b)和接觸開關(105b)。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于上海微電子裝備有限公司，未經上海微電子裝備有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200720071434.6/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇：一種機油取樣器
- 下一篇：新型光源的物理滅蛾器誘蛾燈
