[實用新型]樣品臺

有效

• 申請號: 200720071239.3
• 申請日: 2007-06-18
• 公開（公告）號: CN201060150Y
• 公開（公告）日: 2008-05-14
• 發明（設計）人: 陳強;黃勤;白莉莉;秦天;關業群
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: G01N13/10
• 分類號: G01N13/10;G01N33/48;G01N35/00
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司
• 代理人: 逯長明

1.一種樣品臺，其特征在于，包括上底座和下底座，其中下底座包括，配置在下底座上平面上的至少一個彈性活動組以及配置在下底座上平面上的至少一個離膠頂片，其中每一個彈性活動組至少包括一個彈性部件，而離膠頂片的高度至少高于彈性部件處于受壓狀態時的高度，并且低于彈性部件處于自然狀態時的高度；其中上底座用于承載樣品，受彈性活動組的支撐，并且具有至少一個與離膠頂片配套的開口，所述開口的位置與離膠頂片對應，且當上底座向下底座下壓時使得離膠頂片從開口處伸出。

2.如權利要求1所述的樣品臺，其特征在于，所述彈性部件為彈簧。

3.如權利要求2所述的樣品臺，其特征在于，所述彈性活動組包括一個彈簧。

4.如權利要求2所述的樣品臺，其特征在于，所述彈性活動組包括一個彈簧和一個螺桿，其中螺桿固定于彈簧頂部。

5.如權利要求4所述的樣品臺，其特征在于，所述上底座具有與螺桿配套的開口，并且該開口用于螺桿與上底座的連接。

6.如權利要求5所述的樣品臺，其特征在于，所述螺桿與上底座為螺紋連接或插槽連接。

7.如權利要求2所述的樣品臺，其特征在于，所述彈性活動組包括一個彈簧和一個金屬墊片，其中金屬墊片固定于彈簧頂部。

8.如權利要求7所述的樣品臺，其特征在于，所述上底座與金屬墊片呈固定連接。

9.如權利要求1至8任一項所述的樣品臺，其特征在于，所述下底座上配置4個彈性活動組。

10.如權利要求1至8任一項所述的樣品臺，其特征在于，所述上底座上配置2個與離膠頂片配套的開口。