[實用新型]石英波片厚度的測量裝置

無效

• 申請號: 200720070787.4
• 申請日: 2007-06-08
• 公開（公告）號: CN201043885Y
• 公開（公告）日: 2008-04-02
• 發明（設計）人: 歐陽斌;林禮煌;張秉鈞
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: G01B11/06
• 分類號: G01B11/06;G01N21/41
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司
• 代理人: 張澤純

1.一種石英波片厚度的測量裝置，其特征在于該裝置由裝置主體(1)、接口卡(2)和計算機(3)構成，所述的裝置主體(1)包括激光束(1-1)，該激光束(1-1)經光束引導鏡(1-2)分成透射光束和反射光束，在透射光束方向是監測器(1-3)，在反射光束方向依次是起偏器(1-4)、待測波片置放臺(1-5)、檢偏器(1-6)和檢測器(1-7)，所述的監測器(1-3)、待測波片置放臺(1-5)、檢偏器(1-6)和檢測器(1-7)通過屏蔽電纜經接口卡(2)與計算機(3)相連接。