[實用新型]用于晶體生長的多溫區發熱體無效
| 申請號: | 200720070245.7 | 申請日: | 2007-05-25 |
| 公開(公告)號: | CN201043196Y | 公開(公告)日: | 2008-04-02 |
| 發明(設計)人: | 李紅軍;蘇良碧;徐軍;錢小波;周國清 | 申請(專利權)人: | 中國科學院上海光學精密機械研究所 |
| 主分類號: | C30B35/00 | 分類號: | C30B35/00;C30B11/00;C30B15/18 |
| 代理公司: | 上海新天專利代理有限公司 | 代理人: | 張澤純 |
| 地址: | 201800上*** | 國省代碼: | 上海;31 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 用于 晶體生長 多溫區 發熱 | ||
1.一種用于晶體生長的多溫區發熱體,其特征在于自下而上由下列三個發熱元件組構成的圓筒形發熱體:
發熱元件組A由兩塊弦寬為2WA、高度為HA、厚度為T的圓弧形發熱的第一瓦片(1)和第二瓦片(2)組成,它們相對堅直地放置在一直徑為D的圓上,并保持彼此之間不接觸;
發熱元件組B由八塊弦寬為WB、高度為HB、厚度為T的圓弧形發熱瓦片構成,其中任意兩個第三瓦片(3)、第四瓦片(4)為一組,第三瓦片(3)的右下角與第四瓦片(4)的左下角相連,其余部分不接觸,形成一個“U形”元件,如此每兩個瓦片相連,形成四個“U形”元件;將這四個“U形”元件依次堅直放置在直徑為D的圓上,并保持彼此之間不接觸;
發熱元件組C由十六塊弦寬為WC、高度為HC、厚度為T的圓弧形發熱瓦片構成,其中任意四個第五瓦片(5)、第六瓦片(6)、第七瓦片(7)、第八瓦片(8)為一組,第五瓦片(5)的右上角與第六瓦片(6)的左上角相連,第六瓦片(6)的右下角與第七瓦片(7)的左下角相連,第七瓦片(7)的右上角與第八瓦片(8)的左上角相連,其余部分不接觸,形成一個“M形”元件;如此每四個瓦片相連,形成四個“M形”元件;將這四個“M形”元件依次堅直放置于直徑為D的圓上,并保持彼此之間不接觸;
發熱元件組A中兩個第一瓦片(1)、第二瓦片(2)的頂面分別與發熱元件組B中兩個相對的“U形”元件的底面相連,其余部分不接觸;
發熱元件組B中任一個“U形”元件的兩個頂面分別與發熱元件組C中兩個“M形”元件的相鄰的兩個瓦片的底面相連。
2.根據權利要求1所述的多溫區發熱體,其特征在于所述的三個發熱元件組A、B、C的高度HA、HB、HC的選擇范圍介于0與發熱體的總高度H之間,并且HA+HB+HC=H。
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