[實用新型]一種放置硅片的工裝設備

無效

• 申請號: 200720069789.1
• 申請日: 2007-05-14
• 公開（公告）號: CN201051493Y
• 公開（公告）日: 2008-04-23
• 發明（設計）人: 郭里輝
• 申請（專利權）人: 上海交大泰陽綠色能源有限公司
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673;H01L31/18
• 代理公司: 上海申匯專利代理有限公司
• 代理人: 翁若瑩

技術領域

本實用新型涉及一種放置硅片的工裝設備，可用于幫助硅片在生產過程中的轉移，特別適用于晶體硅太陽電池生產中，降低轉移硅片過程中所引入的硅片碎片率，屬于硅片加工裝置技術領域。

背景技術

在目前太陽電池市場上，單晶、多晶硅太陽電池占據了90％以上的市場份額，這類太陽電池制作在被稱為硅片的單晶或多晶硅基板上。在太陽電池的生產過程中，經常需要將多枚硅片平行地放置到一個載板上，再將載板送入工藝加工設備，對所承載的硅片進行加工。

如圖1所示，為一種將多枚硅片平行地放置到一個載板的結構示意圖，該載板由框架03和支撐硅片的承接體掛鉤04組成。載板的框架可由金屬或非金屬的介質材料所制成，其中相鄰的兩個框子的剖面圖如圖2所示，框中的空間是為放置硅片所設置，在每一個框子的內側設有承接體掛鉤04，用以承接放入框子空間的硅片，之所以用掛鉤04來承接硅片，是因為硅片的被加工面是與掛鉤04相接觸的。采用掛鉤結構，可減少硅片被加工面被此處掛鉤04所遮擋的面積。

在實際生產操作過程中，操作人員手持鑷子或真空吸筆將硅片放入每一個框架03內，承接體掛鉤04將所放入的硅片托住，由于承接體掛鉤04上與硅片的接觸面積較小，支撐硅片的支點有限，在裝、卸硅片的操作中，容易造成硅片破碎，而且，隨著太陽電池生產所要求的硅片面積不斷增大、硅片厚度不斷減小，直接在這種載板上裝、卸硅片將難以滿足大規模、高速生產太陽電池，同時保持低硅片破碎率的要求。

在太陽電池生產過程中，獲得低硅片破碎率是獲得盈利的必要條件。

發明內容

本實用新型的目的是提供一種減少硅片破碎率，降低生產成本、提高太陽電池在線生產效率的放置硅片的工裝設備。

為實現以上目的，本實用新型的技術方案是提供一種放置硅片的工裝設備，其特征在于，由工作板和支撐臺組成，在工作板上設有與硅片轉移裝置中每一個框架四周鉤子中間所對應的固定支撐臺。

所述的工作板的厚度為5mm-15mm，材料為金屬平板或絕緣材料平板；所述的固定支撐臺面積比硅片小，厚度為3mm-8mm，高于硅片轉移裝置的掛鉤。

本實用新型放在硅片載板的下面，并使支撐臺落入在硅片載板的每個框子的鉤子中間，盡量居中，由于支撐臺比鉤子高，操作者將硅片逐一放到每個支撐臺上，放滿每個支撐臺后，將硅片載板抬起，所有原先在本實用新型支撐臺上的硅片就被轉移到硅片載板鉤子上，由于支撐臺與所被放置的硅片的接觸面，要比鉤子與所被放置的硅片的接觸面大得多，硅片在放置中被損壞的幾率就小得多，而且方便得多。

本實用新型的優點是能提高生產效率，減少硅片破碎。

附圖說明

圖1為硅片載板結構的俯視示意圖；

圖2為硅片載板相鄰的兩個框子的剖面示意圖；

圖3為一種放置硅片的工裝設備結構示意圖；

圖4為一種放置硅片的工裝設備兩個相鄰支撐臺的剖面示意圖；

圖5將硅片載板放置在本實用新型上的俯視示意圖；

圖6兩個框子之間硅片載板和本實用新型的相互位置關系剖面示意圖。

具體實施方式

以下結合附圖和實施例對本實用新型作進一步說明。

實施例

如圖3、4所示，為一種放置硅片的工裝設備結構示意圖，由工作板01和支撐臺02組成，在工作板01上設有與硅片轉移裝置中每一個框架03四周掛鉤04中間所對應的固定支撐臺02。

工作板01采用厚度為8mm的平整鋁板為底板，支撐臺02采用長、寬、高分別為90mm、90mm、120mm的聚四氟乙烯塊，這種材料具有一定的耐400℃高溫特性、不易對所承接的硅片形成沾污、易于加工，支撐臺2以矩陣形式排布在鋁底板上，并加以固定，固定完畢后不得有突起物在硅片支撐臺的表面，以避免對所承接硅片的損傷，以硅片載板為參照物，使每個支撐臺02置于硅片載板的每個框子03的掛鉤04中間。

工作時，將硅片載板放置在本實用新型上，如圖5、6所示，支撐臺02的高度略高于硅片載板承接體掛鉤04的高度，當操作者將硅片放入框子中時，硅片將支撐臺02所承接，而并非直接落在硅片載板承接體掛鉤04的上面，由于支撐臺02與所被放置的硅片的接觸面，要比承接體掛鉤04與所被放置的硅片的接觸面大得多，硅片在放置中被損壞的幾率就小得多。在完成硅片放入框子中后，將硅片載板平行端起，放在框子中硅片支撐臺02上的硅片就自動落在了硅片載板承接體掛鉤04的上面，硅片放入硅片載板的操作完成。