[實用新型]微位移高精度實時干涉測量裝置

無效

• 申請號: 200720067118.1
• 申請日: 2007-02-07
• 公開（公告）號: CN201016705Y
• 公開（公告）日: 2008-02-06
• 發明（設計）人: 何國田;王向朝
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海光學精密機械研究所
• 主分類號: G01B9/027
• 分類號: G01B9/027
• 代理公司: 上海新天專利代理有限公司
• 代理人: 張澤純

1.一種微位移高精度實時干涉測量裝置，包括由半導體激光器(1)、準直擴束鏡(2)、分束器(3)、參考平板(4)、待測量物體(5)和探測元件(6)組成的泰曼格林干涉儀，其特征在于：所述的探測元件(6)的輸出端接實時信號處理電路(7)輸入端、該實時信號處理電路(7)輸出端接歸一化電路(8)輸入端，該歸一化電路(8)輸出端接單片機(9)輸入端，該單片機(9)具有相位連續化處理軟件，該單片機(9)的輸出端與示波器(10)的輸入端相連，直流電源(11)和信號源(12)通過調制器(13)與所述的半導體激光器(1)相連接，所述的信號源(12)還與所述的實時信號處理電路(7)相連接。

2.根據權利要求1所述的微位移高精度實時干涉測量裝置，其特征在于所述的分束器(3)是將入射光按1∶1的光強分成兩束光的元件，由分光棱鏡或者一面鍍析光膜的平行平板構成。

3.根據權利要求1所述的微位移高精度實時干涉測量裝置，其特征在于所述參考平板(4)是一光學平板，靠近分束器的一面鍍有高反射膜。

4.根據權利要求1所述的微位移高精度實時干涉測量裝置，其特征在于所述的探測元件(6)是光電二極管、或光電池、或光電倍增管。

5.根據權利要求1所述的微位移高精度實時干涉測量裝置，其特征在于所述實時信號處理電路(7)由二個放大器(701、702)、一個乘法器(703)、一個濾波器(704)構成。

6.根據權利要求1所述的微位移高精度實時干涉測量裝置，其特征在于所述歸一化電路(8)由乘方運算電路(801)、濾波電路(802)、開方運算電路(803、除法運算電路(804)串連構成。