[實(shí)用新型]實(shí)時(shí)測(cè)量表面形貌的正弦相位調(diào)制干涉裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200720067117.7
• 申請(qǐng)日: 2007-02-07
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN201003947Y
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-01-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 何國(guó)田;王向朝
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所
• 主分類(lèi)號(hào): G01B9/02
• 分類(lèi)號(hào): G01B9/02
• 代理公司: 上海新天專(zhuān)利代理有限公司
• 代理人: 張澤純

1、一種實(shí)時(shí)測(cè)量表面形貌的正弦相位調(diào)制干涉裝置，包括一半導(dǎo)體激光器(1)沿該半導(dǎo)體激光器(1)的出射光束前進(jìn)方向同光軸地依次設(shè)置第一透鏡組(2)、分束器(3)，在該分束器(3)的透射光束(t1)的前進(jìn)方向上設(shè)置被測(cè)物體(5)，在分束器(3)的反射光束(f1)的前進(jìn)方向上放置有參考平板(4)；光束(f1)被參考平板(4)反射后的前進(jìn)方向上依次放置有第二透鏡(6)和探測(cè)元件(7)，其特征在于：所述的探測(cè)元件(7)的輸出端與信號(hào)處理單元(11)的第一輸入端(8a)相連接，信號(hào)處理單元(11)的輸出端與計(jì)算機(jī)(12)相連接，與半導(dǎo)體激光器(1)連接的驅(qū)動(dòng)器(13)分別與直流電源(14)和信號(hào)源(15)連接，該信號(hào)源(15)的第二輸出端與所述的信號(hào)處理單元(11)的第二輸入端(8b)相連接。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所述的實(shí)時(shí)測(cè)量表面形貌的正弦相位調(diào)制干涉裝置，其特征在于所述的分束器(3)是指能夠?qū)⑷肷涔獍唇咏?∶1的光強(qiáng)比分成兩束光的分光元件的分光棱鏡、或一面鍍有析光膜的平行平板。

3、根據(jù)權(quán)利要求1所述的實(shí)時(shí)測(cè)量表面形貌的正弦相位調(diào)制干涉裝置，其特征在于所述的參考平板(4)是一對(duì)著分束器(3)一側(cè)的表面上鍍有增透膜的平行平板。

4、根據(jù)權(quán)利要求1所述的實(shí)時(shí)測(cè)量表面形貌的正弦相位調(diào)制干涉裝置，其特征在于所述的探測(cè)元件(7)是一維或二維光電探測(cè)器。

5、根據(jù)權(quán)利要求1所述的實(shí)時(shí)測(cè)量表面形貌的正弦相位調(diào)制干涉裝置，其特征在于所述的信號(hào)處理單元(11)包括實(shí)時(shí)相位探測(cè)電路(8)、實(shí)時(shí)鑒相電路(9)與同步電路(10)。

6、根據(jù)權(quán)利要求5所述的實(shí)時(shí)測(cè)量表面形貌的正弦相位調(diào)制干涉裝置，其特征在于所述的實(shí)時(shí)相位探測(cè)電路(8)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)包括第一放大器(801)、第二放大器(802)、計(jì)算電路(803)、第一低通濾波器(804)、第二低通濾波器(805)。

7、根據(jù)權(quán)利要求5所述的實(shí)時(shí)測(cè)量表面形貌的正弦相位調(diào)制干涉裝置，其特征在于所述的實(shí)時(shí)鑒相電路(9)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)包括第三放大器(901)，第四放大器(902)，除法電路(903)，解相電路(904)，相位補(bǔ)償電路(905)，所述的相位補(bǔ)償電路(905)由單片機(jī)構(gòu)成。