[實用新型]一種晶舟操控裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200720066562.1
• 申請日: 2007-01-23
• 公開（公告）號: CN201017867Y
• 公開（公告）日: 2008-02-06
• 發(fā)明（設計）人: 吳永強;陸一峰;顧佳玉;陳造衛(wèi)
• 申請（專利權）人: 中芯國際集成電路制造(上海)有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/677;B65G47/90
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 王潔

技術領域

本實用新型涉及一種操控裝置，尤其涉及一種用以搬運晶舟的操控裝置。

背景技術

晶舟(cassette)作為晶片的載具，是半導體器件制造工藝中傳輸和承載晶片的關鍵器具。由于半導體工藝的特殊性，要求搬運晶舟的裝置有高度的精確性及穩(wěn)定性，以防止晶舟在搬運過程中脫落，導致其內(nèi)部的晶片破損。

如圖1所示，晶舟包括晶舟頂蓋31’及晶舟主體32’。現(xiàn)有的晶舟操控裝置包括操控盒1’及分別設置在操控盒1’兩側的機械手2’，所述機械手2’呈“<”狀，包括上部的主動桿21’、及與該主動桿21’固定連接的夾持桿22’，主動桿21’在操控盒1’的控制下帶動夾持桿22’工作。左右兩側的兩個夾持桿22’共同作用，夾住晶舟頂蓋31’。由于兩夾持桿22’夾住晶舟頂蓋31’的面積很小，其夾持的穩(wěn)定性不足，容易在晶舟的搬運過程中出現(xiàn)晶舟掉落的現(xiàn)象，而使得晶舟內(nèi)部的晶片破損。

機械手2’有兩個工作狀態(tài)：預備狀態(tài)、夾緊狀態(tài)。預備狀態(tài)時(如圖1)，機械手2’的夾持桿22’的末端端點221’到晶舟頂蓋31’側邊的垂直距離為4mm。在該狀態(tài)時，如果夾持桿22’碰到晶舟，則認為操控裝置與晶舟的位置未對準，產(chǎn)生報警；否則，操控裝置與晶舟被默認為已經(jīng)對準。由于搬運需要很高的精確度，上述4mm的距離相對較大，有些時候晶舟操控裝置的位置未與晶舟的位置對準，卻沒有報警發(fā)出，從而導致晶舟掉落。夾緊狀態(tài)時(如圖2)，機械手2’的夾持桿22’的末端端點221’到晶舟頂蓋31’側邊的垂直距離為0.5mm。只要晶舟略微晃動，就可能脫離上述0.5mm距離的保護，從左右兩機械手2’中脫落。

實用新型內(nèi)容

本實用新型的目的在于提供一種具有高穩(wěn)定性、高精確度的晶舟操控裝置。

為了達到上述的目的，本實用新型提供一種晶舟操控裝置，通過夾緊晶舟頂蓋來搬運晶舟，其包括操控盒及分別設置在該操控盒兩側的兩機械手，所述兩機械手均呈“<”狀，包括上部的主動桿、及與該主動桿固定連接的夾持桿，所述操控裝置具有一預備狀態(tài)和一夾緊狀態(tài)，其中，所述夾持桿的末端向該操控盒的方向還伸出一支撐爪。

在上述的晶舟操控裝置中，在預備狀態(tài)時，所述支撐爪的末端端點到晶舟頂蓋側邊的垂直距離小于4mm。

在上述的晶舟操控裝置中，所述垂直距離介于1mm至3mm。

在上述的晶舟操控裝置中，所述垂直距離為1.5mm。

在上述的晶舟操控裝置中，在夾緊狀態(tài)時，所述支撐爪的末端端點到晶舟頂蓋側邊的垂直距離大于0.5mm。

在上述的晶舟操控裝置中，所述垂直距離介于1mm至5mm。

在上述的晶舟操控裝置中，所述垂直距離為2.5mm。

本實用新型提供的晶舟操控裝置，在兩個機械手的末端設置支撐爪，支撐爪在夾緊狀態(tài)時幾乎呈水平方向設置，緊緊扣住晶舟頂蓋，晶舟頂蓋被卡在夾持桿與支撐爪的交接處，從而增加了晶舟操控裝置的穩(wěn)定性，即使有晃動，晶舟也不會輕易脫落。另外，在預備狀態(tài)時，本實用新型的晶舟操控裝置中支撐爪的末端(即機械手距離晶舟最近的端點)到晶舟頂蓋側邊的垂直距離較現(xiàn)有的距離有所減小，從而減小了晶舟與操控裝置的相對可活動范圍，這樣可以更加精確地保證晶舟與晶舟操控裝置的位置對準。

附圖說明

本實用新型的晶舟操控裝置由以下的實施例及附圖給出。

圖1為現(xiàn)有的晶舟操控裝置預備狀態(tài)的結構示意圖；

圖2為現(xiàn)有的晶舟操控裝置夾緊狀態(tài)的結構示意圖；

圖3為本實用新型的晶舟操控裝置預備狀態(tài)的結構示意圖；

圖4為本實用新型的晶舟操控裝置夾緊狀態(tài)的結構示意圖。

具體實施方式

以下將對本實用新型的晶舟操控裝置作進一步的詳細描述。

實施例一

請參閱圖3，本實用新型揭示的一種晶舟操控裝置，包括操控盒1及分別設置在操控盒兩側的兩機械手2，所述機械手2均包括上部的主動桿21、與該主動桿21固定連接的夾持桿22、及由所述夾持桿22的末端向該操控裝置的內(nèi)側伸出的支撐爪23。該操控裝置用來搬運晶舟(如圖所示，晶舟包括晶舟頂蓋31及晶舟主體32)。