[實用新型]一種可整體植入真空室的離子束源裝置

有效

• 申請號: 200720065470.1
• 申請日: 2007-12-17
• 公開（公告）號: CN201134408Y
• 公開（公告）日: 2008-10-15
• 發明（設計）人: 陳特超
• 申請（專利權）人: 中國電子科技集團公司第四十八研究所
• 主分類號: H01J27/02
• 分類號: H01J27/02;H01J37/08
• 代理公司: 長沙正奇專利事務所有限責任公司
• 代理人: 馬強

1.一種可整體植入真空室的離子束源裝置，它有一側裝有金屬后罩(4)的主法蘭(5)和裝有三個外引出電極(1)的真空接口法蘭(2)，金屬軟管(3)的兩端分別同所述金屬后罩(4)和真空接口法蘭(5)上的電極罩(17)連通，主法蘭(5)上裝有三個陶瓷電極(18)，所述陶瓷電極(18)位于金屬后罩(4)中的接線端子分別經穿過金屬軟管(3)的電引線(19)同位于真空接口法蘭(2)上電極罩(17)中的外引出電極接線端子對應連接，其特征是，所述主法蘭(5)的另一側裝有前端有開口的金屬前罩(13)，放電室后端法蘭(7)用支桿(16)連接安裝在所述主法蘭(5)上并位于金屬前罩(13)中，內腔為放電室的放電室筒體(10)的后端安裝在所述放電室后端法蘭(7)的前端面上，且放電室中設有陽極筒(15)；裝在放電室后端法蘭(7)上且與其絕緣的兩只螺桿(8)的前端之間裝有燈絲(14)且該燈絲(14)位于陽極筒(15)中，所述兩螺桿(8)的后端分別用電引線(6)同兩個所述陶瓷電極(18)對應連接，此陶瓷電極中的一根與后端法蘭相連；裝在主法蘭(5)上的送氣管(21)的前端口同位于放電室后端法蘭(7)中部的氣室(22)連通，該氣室(22)的前端口裝有位于陽極筒(15)中的氣體分配器(9)；放電室的前端口裝有離子引出組件，該離子引出組件有兩個互不接觸的平面法蘭(12、23)，所述兩平面法蘭(12、23)上各裝有金屬曲面柵網(11)，位于陽極筒(15)前端口的該兩金屬曲面柵網(11)之間留有間隙且其凸面朝向陽極筒(15)。