[實用新型]高精度X熒光能量色散光譜儀

無效

• 申請號: 200720062799.2
• 申請日: 2007-03-28
• 公開（公告）號: CN201053955Y
• 公開（公告）日: 2008-04-30
• 發明（設計）人: 劉召貴
• 申請（專利權）人: 深圳市天瑞儀器有限公司
• 主分類號: G01N23/223
• 分類號: G01N23/223;G01J3/10
• 代理公司: 深圳市凱達知識產權事務所
• 代理人: 劉大彎

技術領域

本實用新型涉及一種微量元素檢測儀器，尤其是一種檢測結果準確且精度很高的X熒光能量色散光譜儀。

背景技術

RoHS指令，全稱為《電氣、電子設備中限制使用某些有害物質指令》，實際上是歐盟推出的一個“綠色貿易壁壘”，它是歐盟于2003年2月頒布的，旨在限制在電子電氣設備中使用6種有害物質(鉛、汞、鎘、6價鉻、聚溴聯苯和聚溴二苯醚，這六種有害物質實際上只涉及到五種有害元素)的法令。其目標與其它國際法規相一致，旨在限制新設備使用某些有害物質，以保護人類健康和環境。對于歐洲以外的電子產品制造商，只要其生產的設備最終出口到歐盟成員國，就必須于2006年7月1日起遵守這項法規，全球各國也擬定了類似的法規。這部對于廣大中國消費者而言還比較陌生的歐盟RoHS環保指令，被稱為是“牽動全球制造業神經的指令”，它所涉及的產品范圍極其廣泛，包括10大類近20萬種，幾乎涵蓋了所有電子信息類產品，如大小型家用電器、IT和通信設備、電器電子工具、玩具休閑及體育設備、醫療設備等。隨著經濟的發展，我國對外貿易的步伐進一步加大，屬于歐盟RoHS指令輻射范圍的企業不計其數，他們急需一種有力武器，能協助他們應對RoHS指令。即能夠準確檢測產品或者原料中所含的五種元素的含量。

目前檢測RoHS的其他方法有很多，除了本文要介紹的X熒光分析法之外，還有電子能譜分析和無機質譜分析兩大類。這兩大類中的其他方法主要如下：

電子能譜分析：俄歇電子能譜法(AES)，紫外光電子能譜法(UPS)

無機質譜分析：感應耦合等離子體質譜儀(ICP-MS)，微波感應等離子體質譜儀(MIP-MS)，火花源雙聚焦質譜儀(SS-MS)，熱電離質譜儀(TI-MS)，輝光放電質譜儀(GD-MS)，激光微探針質譜儀(LM-MS)，二次離子質譜儀(SIMS)。

從歐盟海關的檢測流程，檢測的準確性，檢測的速度，檢測的直觀性，儀器的價格等多方面進行考慮，以X熒光光譜儀最受青睞。原因在于：在測量RoHS方面，X熒光分析方法相較其他上述儀器來說，有以下優勢：

1.快速：最多200s，可以精確得出測量結果。無需前處理或者前處理過程非常簡單。

2.直觀：測試過程中有實時譜圖顯示，可以直觀進行含量的判斷操作。

3.無損：測試前后，樣品不發生任何物理和化學的變化。

4.準確：測量結果準確可靠。

5.分析濃度范圍廣：分析濃度范圍較寬，從常量到微量都可分析。重元素的檢測限可達ppm量級。

本發明入于去年申請了名稱為一種自動定位X熒光能量色散光譜儀的專利，專利申請號為200620014536.x。如圖1所示，該專利為一種真空檢測X熒光能量色散光譜儀，包括機身和與之相連的電腦，其中，所述機身內安裝有光源系統、探測器系統以及信號處理系統，其中，所述光源系統包括高壓單元和X光管，光源系統發射出X射線，X射線作用在樣品上后，樣品中的各個原子會被激發出特征X熒光，這些X熒光被探測器系統所接收，分析轉化為電信號，電信號經過MCA模塊系統的處理，再傳輸到電腦中，在機身和與之相連的電腦的用戶界面上顯示出來，其特征在于：所述真空檢測X熒光能量色散光譜儀的機身包括一金屬框架和一外殼，其中，所述光源放射系統、探測器系統、以及信號處理系統均固定于所述金屬框架上，所述外殼罩在所述金屬框架外起保護作用，所述金屬框架的上部還設有一樣品臺，所述樣品放置于該樣品臺上，所述樣品臺、光源放射系統、探測器系統、以及信號處理系統構成一測量單元。

但本發明人經過實踐，發現上述專利存在以下幾個方面的缺點需要改進：

一、該X熒光光譜儀，沒有移動平臺這樣的裝置，在移動樣品時完全依靠手工操作。因此在移動距離很小時，手工操作很難達到微調的效果。

二、該X熒光光譜儀沒有內置攝像頭。這樣在測量過程中無法觀察樣品，進而無法正確判斷樣品中接受檢測的部位，這對于一些非均質物質和一些檢測部位非常微小的樣品來說十分不便，還很有可能造成誤測。

三、該X熒光光譜儀，針對不同的樣品調整準直器和濾光片時，都是手工進行操作，這樣每次都必須開蓋進行操作，可能會有灰塵進入光路系統，或者手動調整時是依靠人眼的標準，難免會有一些偏差，而這些偏差反應到測試樣品上，就會對測試結果產生影響。

四、該X熒光光譜儀的箱體外殼屏蔽輻射的效果不佳。

發明內容

為了克服上述X熒光光譜儀的眾多缺點，本實用新型的目是提供一種高精度X熒光能量色散光譜儀，該光譜儀通過對機身內各個結構的改進，提高了測量精度和操作精度。