[實用新型]真空X熒光能量色散光譜儀

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200720062798.8
• 申請日: 2007-03-28
• 公開（公告）號: CN201034950Y
• 公開（公告）日: 2008-03-12
• 發(fā)明（設計）人: 劉召貴
• 申請（專利權）人: 深圳市天瑞儀器有限公司
• 主分類號: G01N23/223
• 分類號: G01N23/223;G01J3/10
• 代理公司: 深圳市凱達知識產權事務所
• 代理人: 劉大彎

技術領域

本實用新型涉及一種微量元素檢測儀器，尤其是一種檢測結果準確且精度很高的X熒光能量色散光譜儀。

背景技術

目前進行全元素分析其他方法有很多，除了X熒光分析法之外，還有電子能譜分析和無機質譜分析兩大類：這兩大類中的其他方法主要如下：

電子能譜分析：俄歇電子能譜法(AES)，紫外光電子能譜法(UPS)

無機質譜分析：感應耦合等離子體質譜儀(ICP-MS)，微波感應等離子體質譜儀(MIP-MS)，火花源雙聚焦質譜儀(SS-MS)，熱電離質譜儀(TI-MS)，輝光放電質譜儀(GD-MS)，激光微探針質譜儀(LM-MS)，二次離子質譜儀(SIMS)。

針對鍍層分析，目前行業(yè)主要分為兩大類：破壞法鍍層檢測，非破壞法鍍層檢測方法。

破壞法鍍層檢測方法必須將檢測部位做斷面切片，經過金相研磨、拋光、化學腐蝕得到試樣，通過CCD攝像到電腦中，通過計算機測量軟件進行電鍍層斷面的觀察和測量。這種檢測方式的缺點為：要破壞檢測樣品，所以檢測速度慢，只適合于抽檢。

非破壞性鍍層檢測方法除了本文將要介紹的X熒光方法外，還包括電磁法、超聲波等方式。但是這種方法的檢測精度比較低，誤判率比較高。

本款儀器是采用X熒光分析方法，在分析測試方面，X熒光分析方法相較其他儀器來說，有以下的優(yōu)勢：

1.快速：最多200s，可以精確得出測量結果。無需前處理或者前處理過程非常簡單。

2.直觀：測試過程中有實時譜圖顯示，可以直觀進行含量的判斷操作。

3.無損：測試前后，樣品不發(fā)生任何物理和化學的變化。

4.準確：測量結果準確可靠。

5.分析濃度范圍廣：分析濃度范圍較寬，從常量到微量都可分析。重元素的檢測限可達ppm量級。

6.既可進行全元素分析，又可進行鍍層分析，適合在軟件中集成。

以上是一般X熒光光譜儀都具有的優(yōu)良性能，相較其它X熒光光譜儀來說，該儀器具有自己獨特的優(yōu)勢：

本發(fā)明人于去年申請了名稱為一種自動定位X熒光能量色散光譜儀的專利，專利申請?zhí)枮?00620014536.x。如圖1所示，該專利為一種真空檢測X熒光能量色散光譜儀，包括機身和與之相連的電腦，其中，所述機身內安裝有光源系統(tǒng)、探測器系統(tǒng)以及信號處理系統(tǒng)，其中，所述光源系統(tǒng)包括高壓單元和X光管，光源系統(tǒng)發(fā)射出X射線，X射線作用在樣品上后，樣品中的各個原子會被激發(fā)出特征X熒光，這些X熒光被探測器系統(tǒng)所接收，分析轉化為電信號，電信號經過MCA模塊系統(tǒng)的處理，再傳輸?shù)诫娔X中，在機身和與之相連的電腦的用戶界面上顯示出來，其特征在于：所述真空檢測X熒光能量色散光譜儀的機身包括一金屬框架和一外殼，其中，所述光源放射系統(tǒng)、探測器系統(tǒng)、以及信號處理系統(tǒng)均固定于所述金屬框架上，所述外殼罩在所述金屬框架外起保護作用，所述金屬框架的上部還設有一樣品臺，所述樣品放置于該樣品臺上，所述樣品臺、光源放射系統(tǒng)、探測器系統(tǒng)、以及信號處理系統(tǒng)構成一測量單元。

但本發(fā)明人經過實踐，發(fā)現(xiàn)上述專利存在以下幾個方面的缺點需要改進：

一、該X熒光光譜儀沒有設置可抽真空的真空測量系統(tǒng)，因而無法測試或很難測試輕元素的含量。

二、該X熒光光譜儀沒有帶滾輪，移動不方便。

三、該X熒光光譜儀外殼的門上沒有設置有機玻璃，不能透過玻璃實時監(jiān)測儀器狀態(tài)。

四、該X熒光光譜儀的外殼屏蔽輻射的效果不佳。

發(fā)明內容

為了克服上述X熒光光譜儀的眾多缺點，本實用新型的目是提供一種真空X熒光能量色散光譜儀，該光譜儀通過增設抽真空系統(tǒng)，使得在常規(guī)條件下無法測試或很難測試的輕元素(從鈉到硫)也能得到有效測試，并且測量精度也得到了保證。

本實用新型所采用的技術方案是：一種真空X熒光能量色散光譜儀，包括機身和與之相連的電腦，其特征在于：所述機身包括外殼和真空探測系統(tǒng)，其中，所述真空探測系統(tǒng)位于外殼內。

所述外殼為落地式結構，包括，包括主機架(9)、翻蓋(7)、前門(2)、腳輪(6)、左蓋板(3)、測試腔(4)、前面板(5)和真空探測系統(tǒng)(8)。所述腳輪，可保證本實用新型能在現(xiàn)場隨意移動。

所述真空探測系統(tǒng)包括內外網圈、膜板、密封橡膠板、密封螺母、真空腔體、探測器、壓力傳感器、準直器和光管。所述壓力傳感器可隨時監(jiān)測真空度?保證測量準確性。

所述前門中部為一有機玻璃窗。可透過玻璃實時監(jiān)測儀器狀態(tài)。