[實(shí)用新型]地那米加速器芯管保護(hù)裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200720051905.7
• 申請日: 2007-05-25
• 公開（公告）號: CN201114978Y
• 公開（公告）日: 2008-09-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 邢東劍;萬軍華;邵文海
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳長園電子材料有限公司
• 主分類號: H05H7/00
• 分類號: H05H7/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

【技術(shù)領(lǐng)域】

本實(shí)用新型涉及一種地那米加速器芯管保護(hù)裝置，特別是涉及一種在電子束出現(xiàn)異常時發(fā)出報警并停止加速器的運(yùn)行的地那米加速器芯管保護(hù)裝置。

【背景技術(shù)】

現(xiàn)有技術(shù)的地那米加速器，其真空部分包括加速管、真空泵、掃描盒以及由加速管到掃描盒之間的連接管道組成。加速器在運(yùn)行時要求真空部分的真空度必須達(dá)到2*10^-4P_a或更高，電子槍發(fā)出的電子束在垂直到達(dá)掃描磁鐵形成的掃描磁場后，在掃描磁場的控制下不斷的打在引出窗的鈦箔上。為了安裝掃描磁鐵，在掃描磁鐵的安放處有設(shè)有一個裝置，在上下法蘭間有一個近似喇叭狀的長方行管道，叫作芯管。芯管的內(nèi)部供電子束通過，外邊安裝掃描磁鐵。

其整體結(jié)構(gòu)如附圖1所示，其中的上法蘭與一波紋管22相接，上法蘭的結(jié)構(gòu)如圖2種的園形結(jié)構(gòu)是法蘭與波紋管22相連的密封口。圖中的長方形結(jié)構(gòu)是芯管12的入口，它明顯的小于波紋管的內(nèi)徑，由附圖2可知，電子束在進(jìn)入掃描盒前要先經(jīng)過聚焦和導(dǎo)向磁場，在正常情況下，電子束會經(jīng)過圖2中的長方形孔進(jìn)入掃描盒，但當(dāng)電子束出現(xiàn)偏移或散焦時，電子束就會打在圖2中所示長方形芯管12中的一個或幾個邊上，這種現(xiàn)象雖不是經(jīng)常發(fā)生，但出現(xiàn)后造成的后果卻是破壞性的，它會將芯管12法蘭上的焊縫打漏，從而使整個系統(tǒng)的真空失效，加速器無法工作。

【發(fā)明內(nèi)容】

針對上述存在的問題，本實(shí)用新型提供一種解決在電子束發(fā)生偏移或散焦時，及時發(fā)現(xiàn)并避免破壞性的后果發(fā)生。

本實(shí)用新型所用的技術(shù)方案是，本實(shí)用新型地那米加速器芯管保護(hù)裝置包括若干個溫度傳感器至于芯管的上端，所述傳感器和一程控溫控器連接，所述程控溫控器和一主控計算機(jī)連接進(jìn)行信號發(fā)送，且計算機(jī)和加速器控制連接。

其中，所述傳感器固定于法蘭與芯管形成的夾縫處。

當(dāng)傳感器的溫度超出了預(yù)設(shè)溫度，溫控器會給出一個信號，該信號被轉(zhuǎn)換成報警信號后傳給主控計算機(jī)，計算機(jī)立刻停止加速器的運(yùn)行，這樣也就避免了芯管被燒漏的可能，對于偶然出現(xiàn)的報警，一般在加速器再次開機(jī)后就不會出現(xiàn)，對于連續(xù)出現(xiàn)的報警則要檢查原因并排除之。本實(shí)用新型僅僅是在電子束出現(xiàn)異常時發(fā)出報警并停止加速器的運(yùn)行，從而保證芯管不被燒穿，避免破壞性的后果發(fā)生，費(fèi)用不高，但成效明顯。

【附圖說明】

圖1為現(xiàn)有地那米加速器芯管的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本實(shí)用新型地那米加速器芯管保護(hù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖3為本實(shí)用新型地那米加速器芯管保護(hù)裝置的溫度傳感器放置示意圖。

【具體實(shí)施方式】

下面結(jié)合附圖對本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)進(jìn)行進(jìn)一步的說明。

如圖2所示：地那米加速器芯管保護(hù)裝置包括若干個溫度傳感器11至于芯管12的上端，所述傳感器11通過導(dǎo)線111和一程控溫控器13連接，所述程控溫控器13和一主控計算機(jī)14連接進(jìn)行信號發(fā)送，且計算機(jī)和加速器控制連接。

如圖3所示：所述傳感器11固定于法蘭21與芯管12形成的夾縫處。

如圖1所示：芯管12的長方形入口有四個邊，當(dāng)電子束發(fā)生偏移或散焦時，會打在其中的一個或多個邊上，芯管12在被燒漏的過程中溫度會從常溫逐漸升高到一千多度，由于金屬的熱傳遞比較好，當(dāng)芯管的焊縫在被電子束加熱時，法蘭21的另一邊的溫度也在不斷的升高，我們只要測得溫度的變化也就發(fā)現(xiàn)了電子束出現(xiàn)偏移或散焦的問題。為此，我們在芯管的上端四周放四個溫度傳感器11。并用膠將傳感器緊緊的固定在法蘭21與芯管12形成的夾縫處，傳感器11的聯(lián)線接到程控溫控器13上，溫控器13不斷的循環(huán)測量傳感器的溫度，當(dāng)任一傳感器的溫度超出了預(yù)設(shè)溫度(預(yù)設(shè)溫度一般設(shè)為高出傳感器測得溫度的十度左右即可)，溫控器13會給出一個信號，該信號被轉(zhuǎn)換成報警信號后傳給主控計算機(jī)14，計算機(jī)14立刻停止加速器的運(yùn)行，這樣也就避免了芯管被燒漏的可能，對于偶然出現(xiàn)的報警，一般在加速器再次開機(jī)后就不會出現(xiàn)，對于連續(xù)出現(xiàn)的報警則要檢查原因并排除之。本實(shí)用新型僅僅是在電子束出現(xiàn)異常時發(fā)出報警并停止加速器的運(yùn)行，從而保證芯管不被燒穿，避免破壞性的后果發(fā)生，費(fèi)用不高，但成效明顯。

以上所述者，僅為本實(shí)用新型最佳實(shí)施例而已，并非用于限制本實(shí)用新型的范圍，凡依本實(shí)用新型專利范圍所作的等效變化或修飾，皆為本實(shí)用新型所涵蓋。