[實用新型]雙束雙波長激光三維微熔覆制造混合集成電路基板的設備

無效

• 申請號: 200720046276.9
• 申請日: 2007-10-08
• 公開（公告）號: CN201132853Y
• 公開（公告）日: 2008-10-15
• 發明（設計）人: 王濤;姚建銓;李福增;劉曉雯;金仲偉;楊愷凱;朱超男;陸晶
• 申請（專利權）人: 無錫浩波光電子有限公司
• 主分類號: C23C24/10
• 分類號: C23C24/10;B23K26/34
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.?一種雙束雙波長激光三維微熔覆制造混合集成電路基板的設備，其特征在于：頭部安裝有X-Y振鏡及聚焦鏡的雙Z型諧振腔雙束雙波長激光Nd:YAG激光器，安置于X、Y和Z三軸工作臺上方，具有雙工位智能微噴微細針管的多通道智能微噴送粉熔覆裝置設置于“X、Y和Z三軸工作臺”的兩側上方，與前者錯開位置安裝具有視覺三維采集信息的雙攝像機結構的三維智能視覺檢測識別裝置，全部裝置都通過控制電纜與系統數控中心相連。

2.?根據權利要求1所述的激光三維微熔覆設備，其特征在于所述的雙Z型諧振腔雙束雙波長激光的Nd:YAG激光器的結構采用對稱的Z型諧振腔，設置雙面鍍532nm、1064nm高反射膜的直角棱鏡、設置一維轉動的光束微調鏡。

3.?根據權利要求1所述的激光三維微熔覆設備，其特征在于振鏡x、y軸與工作臺X、Y和Z軸的五軸并聯成形裝置的振鏡x、y軸轉動與工作臺X、Y和Z軸移動的五軸并行聯動。

4.?根據權利要求2所述的激光三維微熔覆設備，其特征在于光束微調鏡軸與振鏡x、y軸、工作臺X、Y、Z軸的五軸，并聯為準六軸并聯機構。