[實(shí)用新型]具有對(duì)硅微加工工藝誤差不敏感的微機(jī)械濾波器

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200720037415.1
• 申請(qǐng)日: 2007-05-15
• 公開（公告）號(hào): CN201069862Y
• 公開（公告）日: 2008-06-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李普
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東南大學(xué)
• 主分類號(hào): H03H9/00
• 分類號(hào): H03H9/00;B81B3/00
• 代理公司: 南京經(jīng)緯專利商標(biāo)代理有限公司
• 代理人: 葉連生

1.一種具有對(duì)硅微加工工藝誤差不敏感的微機(jī)械濾波器，包括耦合梁(1)、梳狀振子(2)、折疊梁(3)，它們的厚度相同且位于同一平面內(nèi)，其中，梳狀振子(2)包括左梳狀振子(21)和右梳狀振子(22)，它們形狀相同，并分別對(duì)稱連接在耦合梁(1)的左右兩側(cè)，每一個(gè)梳狀振子(2)的上下兩側(cè)分別對(duì)稱連接著一個(gè)平行于耦合梁(1)的折疊梁(3)，靜電梳狀驅(qū)動(dòng)端(4)設(shè)置在左梳狀振子(21)的左側(cè)，靜電梳狀感應(yīng)端(5)設(shè)置在右梳狀振子(22)的右側(cè)，靜電梳狀驅(qū)動(dòng)端(4)和靜電梳狀感應(yīng)端(5)的梳齒部分分別與相應(yīng)一側(cè)的梳狀振子(2)的梳齒部分保持不接觸的平行交錯(cuò)，其特征在于：

1)、折疊梁(3)和耦合梁(1)在振動(dòng)方向上具有相同的寬度；

2)、在梳狀振子(2)的中部(20)，設(shè)有多個(gè)垂直于梳狀振子平面且貫通的魯棒補(bǔ)償孔(201)，使梳狀振子(2)的幾何尺寸滿足如下關(guān)系：

P₀a₀≈6A₀

其中，P₀為一個(gè)梳狀振子(2)外邊沿的周長與其上開設(shè)的各個(gè)魯棒補(bǔ)償孔(201)的內(nèi)周長之和，a₀為折疊梁(3)在振動(dòng)方向上的寬度，A₀是一個(gè)梳狀振子(2)的外邊沿所包圍的面積減去其上開設(shè)的各個(gè)魯棒補(bǔ)償孔(201)的面積所得之差。

2.、根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有對(duì)硅微加工工藝誤差不敏感的微機(jī)械濾波器，其特征在于梳狀振子(2)的中部(20)的形狀為正方形。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有對(duì)硅微加工工藝誤差不敏感的微機(jī)械濾波器，其特征在于魯棒補(bǔ)償孔(201)為正方形通孔。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的具有對(duì)硅微加工工藝誤差不敏感的微機(jī)械濾波器，其特征在于魯棒補(bǔ)償孔(201)為圓形通孔。