[實用新型]真空鍍膜箱

無效

• 申請號: 200720036586.2
• 申請日: 2007-03-30
• 公開（公告）號: CN201024209Y
• 公開（公告）日: 2008-02-20
• 發明（設計）人: 查家明;徐洪爽
• 申請（專利權）人: 江蘇北方湖光光電有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;G02B1/10
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

技術領域

本實用新型涉及一種鍍膜裝置。具體說是用于鍍制光學薄膜的鍍膜機上的真空箱。

背景技術

在精密光學生產領域都知道，光學薄膜的鍍制是通過熱蒸發技術而實現的。采用熱蒸發技術鍍制薄膜的關鍵技術在于薄膜厚度的控制。而傳統鍍膜機的真空箱包括一個箱體，該箱體為圓柱形，其頂板的下表面中心和底板上分別有探頭和蒸發器，頂板與底板之間有用于放置被鍍零件的支撐板。支撐板的邊沿與箱體內壁間留有間距，其上有中心孔，該中心孔與探頭對應且中心孔的直徑大于探頭。支撐板上還均布有通孔。采用這種結構，膜層的厚度控制只能是通過改變蒸發速率來實現。由于薄膜的性能好壞與鍍膜過程中的蒸發速率密切相關，改變蒸發速率、尤其是降低蒸發速率會大大降低所鍍薄膜的性能。因此，采用這種真空箱鍍制的光學薄膜性能較差。

實用新型內容

本實用新型要解決的問題是提供一種真空鍍膜箱。采用這種真空箱鍍制光學薄膜，性能較好。

為解決上述問題，采取以下方案：

本實用新型的真空鍍膜箱包括箱體，該箱體為圓柱形，其頂板的下表面中心和底板上分別有探頭和蒸發器，頂板與底板之間有用于放置被鍍零件的支撐板。支撐板的邊沿與箱體內壁間留有間距，其上有中心孔，該中心孔與探頭對應且中心孔的直徑大于探頭。支撐板上還均布有通孔。其特點是底板上有支架，支架上有可沿其上下移動的擋板，擋板上有中心孔，其上還均布有通孔。

所說支架含有至少兩根立桿，立桿下端固定在底板上。擋板的邊沿上有滑塊，該滑塊與立桿一一相對應，其上有通孔，立桿的上端一一對應地插入通孔內，且二者間呈滑動配合。

采用上述方案，具有以下優點：

由于本實用新型在其底板上設置有支架，支架上安裝有擋板，且擋板可沿支架上下移動。擋板上有中心孔，其上還均布有通孔。通過調節擋板的高度，就可實現所鍍薄膜厚度的控制，不必改變蒸發速率，鍍制的光學薄膜性能較好。

附圖說明

附圖是本實用新型的真空鍍膜箱結構示意圖。

具體實施方式

如附圖所示，本實用新型的真空鍍膜箱真空鍍膜箱含有一個箱體9，該箱體為圓柱形，其頂板的下表面中心安裝頭探頭2，其底板的圓心兩側對稱位置上安裝有兩個蒸發器8。頂板與底板之間設置有用于放置被鍍零件1的支撐板4，該支撐板通過拉桿懸置于頂板的下方。支撐板4的四周邊沿與箱體9內壁間留有間距，其上加工有中心孔3，該中心孔與探頭2對應且中心孔3的直徑大于探頭2。支撐板4上還加工有若干通孔，這些通孔呈均勻布置。在箱體9的底板上設置有支架7，該支架含有三根立桿，該三根立桿沿底板的圓周方向均布，它們的下端固定在底板上。支架7上安裝有擋板5，擋板5的邊沿上固定有三塊滑塊6，該三塊滑塊與支架7的立桿一一相對應，其上加工有通孔，立桿的上端一一對應地插入通孔內，且二者間呈滑動配合。滑塊6上還加工有小螺孔，該小螺孔與其上的通孔連通并安裝有調節螺釘，通過旋擰調節螺釘，可實現滑塊6與立桿間的固定或松開，從而實現擋板5的高度調整。