[實用新型]白光干涉測量樣品表面形狀精細分布的裝置

無效

• 申請號: 200720032044.8
• 申請日: 2007-06-15
• 公開（公告）號: CN201050978Y
• 公開（公告）日: 2008-04-23
• 發明（設計）人: 張民芳;成武
• 申請（專利權）人: 西安普瑞光學儀器有限公司
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02;G01B11/30
• 代理公司: 西安文盛專利代理有限公司
• 代理人: 李中群

1.一種白光干涉測量樣品表面形狀精細分布的裝置，其特征在于具有一個由白光光源(4)、透鏡(3)和半反半透分光鏡(11)組成的照明光源系統、一個由CCD相機(1)和透鏡(2)組成的光學成像系統和一個由干涉顯微物鏡(I)和樣品放置臺(9)組成的垂直掃描系統，半反半透分光鏡(11)以45°傾角設置在照明光源系統的光軸方向上，將光源照明光束分為下行反射光和上行或平行透射光兩束光，光學成像系統的透鏡(2)和CCD相機(1)同軸依次設置在其透射光的光軸方向上，干涉顯微物鏡(I)包括顯微透鏡(5)、半反半透參考鏡(6)和分光鏡(7)，它們依次同軸設置在半反半透分光鏡(11)反射光軸的下方，樣品放置臺(9)設置在干涉顯微物鏡的下方。

2.根據權利要求1所述的白光干涉測量樣品表面形狀精細分布的裝置，其特征在于CCD相機(1)的信號輸出端與一臺配備了圖像采集卡和相關圖像采集軟件的計算機(12)的信號輸入端連接，干涉顯微物鏡(I)設置在一個由計算機(12)控制驅動做上下移動的閉環壓電陶瓷驅動器(10)上。

3.根據權利要求1所述的白光干涉測量樣品表面形狀精細分布的裝置，其特征在于樣品放置臺(9)為一個由計算機(12)控制驅動并可在二維平面內任意自動移動的電動式放置臺。